"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности магнетронного напыления эпитаксиальных пленок YBCO для применений в устройствах сверхпроводниковой электроники
Дроздов Ю.Н., Мастеров Д.В., Павлов С.А., Парафин А.Е., Юнин П.А.1,2
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: masterov@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 5 марта 2015 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2015 г.

Обсуждены основные факторы, определяющие процесс роста эпитаксиальных пленок высокотемпературного сверхпроводника YBa2Cu3O7-delta при магнетронном напылении в планарной осевой геометрии. Особое внимание уделено вопросу повышения скорости роста пленок, пригодных для применения в устройствах сверхпроводниковой электроники. Методом магнетронного напыления получены пленки YBa2Cu3O7-delta с высокими структурными и электрофизическими характеристиками при скорости роста до 200 nm/h, которые были использованы для создания дисковых СВЧ резонаторов и длинных джозефсоновских переходов на бикристаллических подложках. Величина собственной добротности резонаторов превышает 80 000 на частоте 7.1 GHz при температуре 77 K, что соответствует лучшим результатам в этой области. Джозефсоновские переходы длиной 50 - 350 mum характеризуются значением плотности критического тока jc = 12 - 33 kA/cm2 для температуры T = 77 K и jc = 93 - 230 kA/cm2 для температуры T = 6 K при нулевом магнитном поле. Величина характерного напряжения IcRn составляет 0.8-1.96 mV.
  1. Tsukamoto A., Tsurukiri E., Soutome Y., Saitoh K., Kurosawa I., Takagi K. // Physica C. 2003. Vol. 392-396. P. 1245-1249
  2. Крупке Р., Азулэ М., Дойтчер Г. Получение пленок YBa-=SUB=-2-=/SUB=-Cu-=SUB=-3-=/SUB=-O-=SUB=-7-delta-=/SUB=- методом распыления / В кн. Токонесущие ленты второго поколения на основе высокотемпературных сверхпроводников. Под ред. А. Гояла. М.: Изд-во ЛКИ, 2009. 432 с
  3. Iavarone M., Andreone A., Orgiani P., Pica G., Saluzzo M., Vaglio R., Kulik I.I., Palmieri V. // Supercond. Sci. Technol. 2000. Vol. 13. P. 1441-1446
  4. Знаменский А.Г., Марченко В.А. // ЖТФ. 1998. Т. 68. Вып. 2. С. 24-32
  5. Воробьев А.К., Гапонов С.В., Дроздов М.Н., Клюенков Е.Б., Мастеров Д.В. // ФТТ. 2000. Т. 42. Вып. 4. С. 589-594
  6. Kadin A.M., Ballentine P.H., Argana J., Rath R.C. // IEEE Trans. on Magnetics. 1989. Vol. 25. N 2. P. 2437-2440
  7. Мастеров Д.В., Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Павлов С.А., Парафин А.Е., Юнин П.А. // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39. Вып. 19. С. 41-50
  8. Moritakis E., Anagnostou M., Pissas M., Psyharis V., Niarchos D., Stratakos G. // Supercond. Sci. Technol. 1998. Vol. 11. P. 686-691
  9. Дроздов Ю.Н., Мастеров Д.В., Павлов С.А., Парафин А.Е. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 1. С. 125-128
  10. Востоков Н.В., Дроздов Ю.Н., Мастеров Д.В., Павлов С.А., Парафин А.Е. // Письма в ЖТФ. 2010. Т. 36. Вып. 18. С. 60-66
  11. Парафин А.Е., Мастеров Д.В., Павлов С.А., Кревский М.А., Коробков Г.М., Кревский И.М. // Письма в ЖТФ. 2013. Т. 39. Вып. 23. С. 63-71
  12. Muller G., Aschermann B., Chaloupka H., Diete W., Getta M., Gurzinski B., Hein M., Jeck M., Kaiser T., Kolesov S., Piel H., Schlick H., Theisejuns R. // IEEE Trans. on Appl. Supercond. 1997. Vol. 7. N 2. P. 1287-1290
  13. Kolesov S., Chaloupka H., Baumfalk A., Kaiser T. // J. Supercond. 1997. Vol. 10. N 3. P. 179-187
  14. Phillips J.M. // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 79. N 4. P. 1829-1847
  15. Zuccaro C., Winter M., Klein N., Urban K. // J. Appl. Phys. 1997. Vol. 82. N 11. P. 5695-5704
  16. Шмидт В.В. Введение в физику сверхпроводников. М.: МЦНМО, 2000. 416 с
  17. Bobyl A.V., Gaevski M.E., Karmanenko S.F., Kutt R.N., Suris R.A., Khrebtov I.A., Tkachenko A.D., Morosov A.I. // J. Appl. Phys. 1997. Vol. 82. N 3. P. 1274-1280
  18. Востоков Н.В., Дроздов М.Н., Дроздов Ю.Н., Мастеров Д.В., Павлов С.А., Парафин А.Е. // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37. Вып. 14. С. 54-59
  19. Gao J., Wong W.H. // Physica C. 1995. Vol. 251. N 3. P. 330-336
  20. Гапонов С.В., Гусев С.А., Дроздов Ю.Н., Мастеров Д.В., Павлов С.А., Парафин А.Е., Скороходов Е.В., Юнин П.А. // ЖТФ. 2014. Т. 84. Вып. 10. С. 68-72
  21. Alarco J.A., Brorsson G., Olin H., Olsson E. // J. Appl. Phys. 1994. Vol. 75. N 6. P. 3202-3204
  22. Revin L.S., Chiginev A.V., Pankratov A.L., Masterov D.V., Parafin A.E., Luchinin G.A., Matrozova E.A., Kuzmin L.S. // J. Appl. Phys. 2013. Vol. 114. N 24. P. 243 903(1-4)
  23. Hilgenkamp H., Mannhart J. // Rev. Mod. Phys. 2002. Vol. 74. N 2. P. 485-549
  24. Ivanov Z.G., Nilsson P.A., Winkler D., Alarco J.A., Claeson T., Stepantsov E.A., Tzalenchuk A.Ya. // Appl. Phys. Lett. 1991. Vol. 59. P. 3030-3032
  25. Zhang Y.M. // PhD thesis, ISBN 91-7032-888-9, Department of Goteborg, 1993
  26. Winkler D., Zhang Y.M., Nilsson P.A., Stepantsov E.A., Claeson T. // Phys. Rev. Lett. 1994. Vol. 72. N 8. P. 1260-1263.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.