Вышедшие номера
Волноводная спектроскопия двухслойных структур
Сотский А.Б., Steingart L.M., Jackson J.H., Парашков С.О., Дзен И.С., Сотская Л.И.1
1Белорусско-Российский университет, Могилев, Белоруссия
Email: ab_sotsky@mail.ru
Поступила в редакцию: 14 ноября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2015 г.

Предложен метод наименьших квадратов для восстановления оптических параметров двухслойных структур, в котором целевая функция строится с использованием экспериментальных и расчетных данных для отражательной способности призмы связи. Выполнены исследования структуры, состоящей из двух различных пленок оксинитрида кремния, нанесенных на кремниевую подложку. Оценено влияние рассеяния света на решение обратной задачи.