"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Определение реального радиуса кристалла из весового сигнала в процессе выращивания способом Степанова (EFG)
Россоленко С.Н.1, Стрюков Д.О.1, Курлов В.Н.1
1Институт физики твердого тела РAH, Черноголовка, Московская обл., Россия
Email: stryukov@issp.ac.ru
Поступила в редакцию: 28 ноября 2014 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2015 г.

Pазработан способ определения из весового сигнала реального радиуса кристалла, выращиваемого по способу Степанова (EFG). При выращивании цилиндрического кристалла проведен переходной процесс по изменению его профиля, в ходе которого производился расчет изменяющегося радиуса кристалла. Проведено сравнение расчетного радиуса кристалла с выращенным его профилем.
  1. Rossolenko S.N., Pet'kov I.S., Kurlov V.N. Red'kin B.S. // J. Crystal Growth. 1992. N 116. P. 185-190
  2. Winkler J. Ph. D. Thesis "Beitraege zur Regelung des Czochralski-Kristallzuechtungsprozesses zur Herstellung von Verbindungshalbleitern", 2007. 155 P
  3. Kurlov V.N., Rossolenko S.N. // J. Crystal Growth. 1997. N 173. P. 417-426
  4. Rossolenko S.N. // J. Cryst. Growth. 2001. N 231. P. 306-315
  5. Россоленко С.Н., Стрюков Д.О., Курлов В.Н. // ЖТФ. 2015. T. 85. Вып. 6. С
  6. Satunkin G.A. // J. Cryst. Growth. 2003. N 255. P. 170-189
  7. Kuandykov L.L., Antonov P.I. // J. Cryst. Growth. 2001. N 232. P. 852-861

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.