"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Формирование силицидов в двухслойных сверхтонких пленках железа и кобальта на кремнии
Гомоюнова М.В., Гребенюк Г.С., Пронин И.И.1,2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Санкт-Петербург, Россия
Email: Igor.Pronin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 5 февраля 2014 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2014 г.

Исследованы процессы, протекающие в сверхтонких (до 1 nm) слоях Fe и Co при их нанесении на поверхность Si(100)2x1 в разной последовательности, а также при отжиге сформированных структур до температуры ~400oС. Анализ элементного и химического составов пленок проводился in situ методом фотоэлектронной спектроскопии высокого энергетического разрешения с использованием синхротронного излучения, а их магнитные свойства исследовались с помощью эффекта магнитного линейного дихроизма в угловом распределении Co 3p- и Fe 3p-электронов. Показано, что в случае первоначального напыления железа формируется структура, состоящая из слоев FeSi, Fe3Si, твердого раствора Co-Si и металлического кобальта с сегрегированным кремнием. В альтернативном случае образуется структура, включающая в себя слои CoSi, твердого раствора Co-Si, Со, раствора Fe-Si и пленки Fe, частично покрытой кремнием. Все указанные слои (кроме FeSi и CoSi) образуют единые магнитные системы, характеризуемые ферромагнитным упорядочением. Отжиг образцов при температурах выше 130oС (для системы Co/Fe/Si) и ~200oС (для Fe/Co/Si) приводит к формированию немагнитных бинарных и тройных силицидов (FexCo1-xSi и FexCo2-xSi).
  • Gloskovskii A., Barth J., Balke B., Fecher G.H., Felser C., Kronast F., Ovsyannikov R., Durr H., Eberhard W., Schonhense G. // Phys. D: Appl. Phys. 2006. Vol. 40. N 6. P. 1570-1575
  • Yamada S., Hamaya K., Yamamoto K., Murakami T., Mibu K., Miyao M. // Appl. Phys. Lett. 2010. Vol. 96. N 8. P. 082 511-3
  • Гомоюнова М.В., Гребенюк Г.С., Пронин И.И. // ЖТФ. 2011. Т. 81. Вып. 11. С. 130-134
  • Wetzel P., Bertoncini P., Berling D., Mehdaoui A., Loegel B., Bolmont D., Gewinner G., Ulhaq-Bouillet C., Pierron-Bohnes V. // Surf. Sci. 2002. Vol. 499. Р. 210-218
  • Maeda Y., Hamaya K., Yamada S., Ando Y., Yamane K., Miyao M. // Appl. Phys. Lett. 2010. Vol. 97. N 19. Р. 192 501-3
  • Roth Ch., Hillebrecht F.U., Rose H.B., Kisker E. // Phys. Rev. Lett. 1993. Vol. 70. N 22. P. 3479-3482
  • Janke-Gilman N., Hochstasser M., Willis. R.F. // Phys. Rev. B. 2004. Vol. 70. N 18. P. 184 439-12
  • Гомоюнова М.В., Пронин И.И., Галль Н.Р., Молодцов С.Л., Вялых Д.В. // ФТТ. 2003. Т. 45. Вып. 8. С. 1519-1522
  • Uhrberg R.I.G. // J. Phys. Condens. Matter. 2001. Vol. 13. P. 11 181-11 193
  • Koh H., Kim J.W., Choi W.H., Yeom H.W. // Phys. Rev. B. 2003. Vol. 67. N 7. P. 073 306
  • Гомоюнова М.В., Пронин И.И., Галль Н.Р., Молодцов С.Л., Вялых Д.В. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. Вып. 12. С. 25-32
  • Klasges R., Carbone C., Eberhardt W., Pampuch C., Rader O., Kachel T., Gudat W. // Phys. Rev. B. 1997. Vol. 56. N 17. P. 10 801-10 804
  • Pronin I.I., Gomoyunova M.V., Malygin D.E., Vyalikh D.V., Dedkov Yu.S., Molodtsov S.L. // Appl. Phys. А. 2009. Vol. 94. N 3. P. 467-471
  • Sirotti F., DeSantis M., Jin X., Rossi G. // Phys. Rev. B. 1994. Vol. 49. N 16. P. 11 134-11 143
  • Пронин И.И., Гомоюнова М.В., Соловьев С.М., Вилков О.Ю., Вялых Д.В. // ФТТ. 2011. Т. 53. Вып. 3. С. 573-578
  • Berling D., Gewinner G., Hanf M.C., Hricovini K., Hong S., Loegel B., Mehdaoui A., Pirri C., Tuiler M.H., Wetzel P. // J. Magn. Magn. Mater. 1999. Vol. 191. N 3. P. 331-338
  • Tsay J.S., Yang C.S., Liou Y., Yao Y.D. // J. Appl. Phys. 1999. Vol. 85. N 8. P. 4967-4969
  • Chang H.W., Tsay J.S., Hung Y.C., Yuan F.T., Chan W.Y., Su W.B., Chang C.S., Yao Y.D. // J. Appl. Phys. 2007. Vol. 101. N 9. P. 09D124-3
  • Pronin I.I., Gomoyunova M.V., Malygin D.E., Vyalikh D.V., Dedkov Yu.S., Molodtsov S.L. // Appl. Phys. 2008. Vol. 104. N 10. P. 104 914-10
  • Gomoyunova M.V., Pronin I.I., Gall N.R., Molodtsov S.L., Vyalikh D.V. // Surf. Sci. 2005. Vol. 578. N 1-3. P. 174-182
  • Гомоюнова М.В., Гребенюк Г.С., Пронин И.И. // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37. Вып. 23. С. 76-81
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.