"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Оптические характеристики стационарной плазмы продольного разряда на смеси гелий/фреон-12
Шуаибов А.К.1, Дащенко А.И.1, Шевера И.В.1
1Ужгородский национальный университет, Ужгород, Украина
Email: ishev@univ.uzhgorod.ua
Поступила в редакцию: 28 сентября 2001 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2002 г.

Исследовано излучение плазмы контрагированного продольного разряда постоянного тока на смеси He/CF2Cl2 в спектральной области 130-300 nm. Показано, что электроразрядная плазма является источником излучения в диапазоне 150-260 nm, сформированного на основе широких полос молекул Cl2 и однозарядных ионов хлора. Проведена оптимизация ультрафиолетового и вакуумного ультрафиолетового (УФ--ВУФ) излучения плазмы в зависимости от давления и состава рабочей среды, тока разряда и времени работы на одной смеси в газостатическом режиме. Полученные результаты представляют интерес для разработки стационарного источника УФ--ВУФ излучения для применений в микроэлектронике, фотохимии и медицине.
  • Головицкий А.П., Лебедев С.В. // Опт. и спектр. 1997. Т. 82. N 2. С. 251--255
  • Ломаев М.И., Панченко А.Н., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф. // ЖТФ. 1998. Т. 68. Вып. 2. С. 64--68
  • Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. // ЖТФ. 2001. Т. 71. Вып. 8. С. 121--124
  • Шуаибов А.К., Дащенко А.И., Шевера И.В. // ТВТ. 2001. Т. 39. N 4
  • Шуаибов А.К. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 10. С.117--119
  • Шуаибов А.К., Шимон Л.Л., Дащенко А.И., Шевера И.В. // ТВТ. 2000. Т. 38. N 3. С. 386--389
  • Светцов В.И., Куприяновская А.Л., Марышев А.Б. // ЖПС. 1981. Т. 35. Вып. 2. С. 205--208
  • Головицкий А.П. // Письма в ЖТФ. 1998. Т. 24. Вып. 6. С. 63--67
  • Василяк Л.М., Костюченко С.В., Красночуб А.В., Кузьменко М.Е. // ЖПС. 1998. Т. 65. N 2. С. 302--305
  • Бычков Ю.И., Горохов С.Л., Ястремский А.Г. // Квантовая электрон. 2000. Т. 30. N 8. С. 733--737
  • Кудрявцев А.А., Куранов А.Л., Мишаков В.Г., Ткаченко Т.Л. и др. // ЖТФ. 2001. Т. 71. Вып. 3. С. 29--36
  • Райзер Ю.П. Физика газового разряда. М.: Наука, 1987. 592 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.