"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Электродный СВЧ разряд пониженного давления в аргоне
Лебедев Ю.А.1, Мокеев М.В.1
1Институт нефтехимического синтеза им. А.В. Топчиева РАН, Москва, Россия
Email: lebedev@ips.ac.ru
Поступила в редакцию: 30 мая 2001 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2001 г.

Представлено феноменологическое описание электродного СВЧ разряда в аргоне при давлениях 1--30 Torr и падающих мощностях <300 W. Приведены результаты зондовых измерений. Показано, разряд может быть получен на конце возбуждающего штыря-антенны и имеет различные формы (например, форму шара или перемещающихся светящихся нитей). В случае шарового разряда его пространственная структура отличается большей однородностью от полученной ранее в молекулярных газах. Добавление кислорода увеличивает поглощенную плазмой мощность при неизменной падающей мощности, изменяет структуру разряда и приближает ее к структуре в молекулярных газах.
  • Бардош Л., Лебедев Ю.А. // Физика плазмы. 1988. Т. 24. N 10. С. 956--960
  • Бардош Л., Лебедев Ю.А. // ЖТФ. 1998. Т. 68. Вып. 12. С. 29--33
  • Лебедев Ю.А., Мокеев М.В., Татаринов А.В. // Физика плазмы. 2000. Т. 26. N 3. С. 293--298
  • Лебедев Ю.А., Мокеев М.В. // ТВТ. 2000. Т. 38. N 3. С. 381--385
  • Бардош Л., Лебедев Ю.А. // ТВТ. 2000. Т. 38. N 4. С. 552--556
  • Bardos L., Barankova H., Lebedev Yu.A. et al. // Diamond and Related Materials. 1997. Vol. 6. N 3. P. 224--226
  • Bardos L., Barankova H., Lebedev Yu.A. // 42-=SUP=-d-=/SUP=- Ann. Conf. Soc. of Vac. Coaters. Proc. SVC TC. Chicago, 1999. Paper E-7
  • Методы исследования плазмы / Под ред. В. Лохте-Хольтгревена. М.: Мир, 1971. С. 459
  • Александров Д.И., Дианов Е.М., Блинов Л.М. и др. // Физика плазмы. 1986. Т. 12. N 8. С. 1008--1112
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.