Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Электродный СВЧ разряд пониженного давления в аргоне

Лебедев Ю.А.¹, Мокеев М.В.¹

¹Институт нефтехимического синтеза им. А.В. Топчиева РАН, Москва, Россия Topchiev Institute of Petrochemical Synthesis, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

Topchiev Institute of Petrochemical Synthesis, Russian Academy of Sciences, Moscow, Russia

Email: lebedev@ips.ac.ru

Поступила в редакцию: 30 мая 2001 г.

Выставление онлайн: 20 декабря 2001 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Представлено феноменологическое описание электродного СВЧ разряда в аргоне при давлениях 1-30 Torr и падающих мощностях <300 W. Приведены результаты зондовых измерений. Показано, разряд может быть получен на конце возбуждающего штыря-антенны и имеет различные формы (например, форму шара или перемещающихся светящихся нитей). В случае шарового разряда его пространственная структура отличается большей однородностью от полученной ранее в молекулярных газах. Добавление кислорода увеличивает поглощенную плазмой мощность при неизменной падающей мощности, изменяет структуру разряда и приближает ее к структуре в молекулярных газах.

Бардош Л., Лебедев Ю.А. // Физика плазмы. 1988. Т. 24. N 10. С. 956--960
Бардош Л., Лебедев Ю.А. // ЖТФ. 1998. Т. 68. Вып. 12. С. 29--33
Лебедев Ю.А., Мокеев М.В., Татаринов А.В. // Физика плазмы. 2000. Т. 26. N 3. С. 293--298
Лебедев Ю.А., Мокеев М.В. // ТВТ. 2000. Т. 38. N 3. С. 381--385
Бардош Л., Лебедев Ю.А. // ТВТ. 2000. Т. 38. N 4. С. 552--556
Bardos L., Barankova H., Lebedev Yu.A. et al. // Diamond and Related Materials. 1997. Vol. 6. N 3. P. 224--226
Bardos L., Barankova H., Lebedev Yu.A. // 42^d Ann. Conf. Soc. of Vac. Coaters. Proc. SVC TC. Chicago, 1999. Paper E-7
Методы исследования плазмы / Под ред. В. Лохте-Хольтгревена. М.: Мир, 1971. С. 459
Александров Д.И., Дианов Е.М., Блинов Л.М. и др. // Физика плазмы. 1986. Т. 12. N 8. С. 1008--1112

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель