Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Регрессионная модель каскада смещенных атомов при ионном распылении твердого тела

Вольпяс В.А.¹, Дымашевский П.М.¹

¹Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

Email: thinfilm@eltech.ru

Поступила в редакцию: 18 октября 2000 г.

Выставление онлайн: 20 октября 2001 г.

PDF версия

Разработана регрессионная модель каскада ионно-атомных столкновений при ионном распылении аморфных и поликристаллических материалов. Предложенная модель каскада смещенных атомов позволяет описывать упругие процессы рассеяния атомных частиц в твердом теле с применением различных межатомных потенциалов взаимодействия. На основе этой модели рассчитаны значения коэффициентов распыления материалов в порядковыми номерами Z_a=22...79 и скорости ионного распыления ряда многокомпонентных материалов. Сравнение результатов статистического моделирования в рамках разработанной модели с экспериментальными данными по распылению аморфных и поликристаллических материалов показало, что предложенная модель каскада ионно-атомных столкновений и каскада смещенных атомов достаточно корректно в пределах статистического разброса экспериментальных данных описывает процессы ионного распыления.

Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1984, 1986. Т. 1, 2
Sigmund P. // Phys. Rev. 1969. Vol. 184. P. 383
Abrahamson A.A. // Phys. Rev. 1969. Vol. 178. N 3. P. 76--79
Gaydaenko V.I., Nikulin V.K. // Chem. Phys. Lett. 1970. Vol. 7. P. 360--362
Petrov P.K., Volpyas V.A., Hollmann E.K. et al. // Vacuum. 1997. Vol. 48. N 7--9. P. 669--670
Volpyas V.A., Hollmann E.K., Plotkin D.A., Goldrin V.I. // Vacuum. 1998. Vol. 51. N 2. P. 227--230
Вольпяс В.А., Гольман Е.К., Цукерман М.А. // ЖТФ. 1996. Т. 66. Вып. 4. С. 16--23
Вольпяс В.А., Козырев А.Б. Физика слабоионизованной плазмы (монография). СПб.: Складень, 1997. 130 с. ( Volpyas V.A., Kozyrev A.B. Physics of Weakly-ionized Plasma (monograph). St.Petersburg: Skladen publishing, 1997. 130 p.)
Petrov P.K., Volpyas V.A., Chakalov R.A. // Vacuum. 1999. Vol. 52. P. 427--434
Вольпяс В.А., Гольман Е.К. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 3. С. 13--18
Yamamura Y., Matsunami N, Iton N. // Rad. Eff. 1983. Vol. 71. P. 65
Volpyas V.A., Hollmann E.K., Goldrin V.I. // Abstracts 10^th Intern. School on Vacuun, Electron and Ion Technologies. Varna (Bulgaria), 1997. P. 18
Pivovarov A.L., Chenakin S.P. et al. // Surface: Physics, Chemistry, Mechanics. 1989. Vol. 35. N 11. P. 31

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель