Вышедшие номера
Деградация арсенида галлия при воздействии эксимерного лазера
Градобоев А.В.1, Федоров А.И.1
1Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева Сибирского отделения РАН, Томск, Россия
Email: lfmi@asd.tomsk.su
Поступила в редакцию: 12 июня 1999 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2000 г.

Представлены результаты исследования механизма деградации поверхноcти арсенида галлия в результате воздействия мощного эксимерного лазера с плотностью мощности в диапазоне от пороговой до плотности мощности, приводящей к локальному плавлению поверхности. Выявлено два механизма деградации поверхности, первый из которых связан с формированием тонкого приповерхностного слоя нестехиометрического модифицированного арсенида галлия при плотности мощности лазерного излучения более 1· 107 W/cm2, а второй - с образованием отдельной фазы галлия. Образование отдельной фазы галлия может происходить как при воздействии одиночного импульса лазерного излучения с плотностью мощности более 2.7· 1011 W/cm2, так и при воздействии нескольких импульсов с меньшей плотностью мощности. Установлено эмпирическое соотношение между плотностью мощности и количеством воздействующих импульсов, приводящих к формированию отдельной фазы галлия. Установлено также, что в результате воздействия лазерного излучения на границе "холодный" арсенид галлия-"горячий" арсенид галлия формируются периодические структуры дефектов в виде блочных структур, ориентированных по направлениям [100].