Мишени на основе ферритов и высокотемпературных сверхпроводников для ионно-плазменного распыления
Лепешев А.А., Саунин В.Н., Телегин С.В., Полякова К.П., Середкин В.А., Польский А.И.1
1Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, Красноярск, Россия
Поступила в редакцию: 30 марта 1999 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2000 г.
Описан способ получения мишеней для ионно-плазменного распыления с использованием метода плазменного напыления соответствующих порошков на охлаждаемую металлическую основу. Показано, что применение плазменной технологии дает возможность изготавливать в контролируемой атмосфере мишени сложной формы из керамических материалов, обеспечивая их высокую однородность по составу, а также надежный механический и тепловой контакт получаемого покрытия с основой-держателем. Проведены эксперименты по ионно-плазменному распылению мишеней с целью получения поликристаллических пленок ферритов для магнитооптических применений и эпитаксиальных пленок высокотемпературных сверхпроводников.
- Саунин В.Н., Лепешев А.А. Препринт ИФ СО РАН. Красноярск, 1990. N 675 Ф. 49 с
- Данилин В.С., Сырчин В.К. // Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 152 с
- Шермергор Т.Д., Стрельцова Н.Н. // Пленочные пьезоэлектрики. М.: Радио и связь, 1986. 137 с
- Третьяков Ю.Д. // Термодинамика ферритов. Л.: Химия, 1967. 304 с
- Лепешев А.А., Павлов В.Ф., Полякова К.П. и др. // Автометрия. 1995. N 3. С. 50--57
- Полякова К.П., Середкин В.А., Лепешев А.А. и др. // Неорган. материалы. 1998. Т. 34. N 8. С. 970--973
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
