"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Источники фликкер-шума и технология сверхпроводящих микрополосков на основе пленок иттрий-бариевого купрата
Карманенко С.Ф., Семенов А.А., Леонов В.Н., Бобыль А.В., Дедоборец А.И., Лунев А.В., Нащекин А.В., Сурис Р.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 1 апреля 1999 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2000 г.

Моделирование процесса отжига эпитаксиальных пленок YBa2Cu3O7 в рабочих диапазонах частоты и температуры показало, что преобладающими источниками фликкер-шума в сверхпроводниковых микрополосках являются переходы кислорода вблизи малоугловых границ блоков. Для изготовления сверхпроводящих микрополосков размером ~ 1 mum применялись технологии магнетронного распыления и травления химическим и ионно-лучевым методами.
  • Kogan Sh. Electronic Noise and Fluctuations in Solids. Cambridge: University press, 1996. 354 p
  • Pelz. J., Clarke J. // Phys. Rev. B. 1987. Vol. 36. P. 4479--4482
  • Bobyl A.V., Gaevski M.E., Karmanenko S.F. et al. // J. Appl. Phys. 1997. Vol. 82. N. 2. P. 1274--1281
  • Rothman S.J., Routbort J.L., Welp U. et al. // Phys. Rev. B. 1991. Vol. 44. N 4. P. 2326--2332
  • Karmanenko S.F., Barchenko V.T., Dedyk A.I. et al // Supercond. Sci. Technol., 1998. Vol. 11. N 3. P. 284--288
  • Bobyl A.V., Gaevskii M.E., Konnikov S.G. et al. // Scanning Microscopy. 1996. Vol. 10. P. 679--684
  • Eidelloth W., Gallagher W.J., Robertazzi R.P. // Appl. Phys. Lett. 1991. Vol. 59. N 10. P. 1257--1259
  • Barth R., Spangenberg B., Langheirich W. // J. Vac. Sci. Technol. 1992. Vol. A 10. N 6. P. 3411--3413
  • Моро У. Микролитография. Ч. 2. М.: Мир, 1990. 632 с
  • VLSI Electronics Microstructure Science. Plasma Processing for VLSI/Ed. N.G. Einspruch, D.M. Brown. Orlando: Academic Press, 1984. Vol. 8. 469 p
  • Хребтов И.А., Леонов В.Н., Карманенко С.Ф. и др. // Сверхпроводимость. Физ. Хим. Технол. 1993. Т. 6. Вып. 4. С. 786--796
  • Fardmanesh M., Rothwarf A., Scoles K.J. // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 79. N 4. P. 2006--2011
  • Fontaine D., Wille L.T., Moss S.C. // Phys. Rev. B. 1987. Vol. 36. P. 5709--5714
  • Khachaturyn A.G., Morris J.W. // Phys. Rev. Let. 1988. Vol. 61. N 1. P. 215--219
  • Goldman M., Burmester C.P., Wille L.T., Gronsky R. // Phys. Rev. B. 1994. Vol. 50. P. 1337--1341
  • Березкин А.А., Бобыль А.В., Дедоборец А.И. и др. // ФТТ. 1999. Т. 41. Вып. 6. С. 957--965
  • Куликов Д.В., Сурис Р.А., Трушин Ю.В. // ФТТ. 1994. Т. 36. Вып. 11. С. 2975--2980
  • Karmanenko S.F., Belousov M.V., Davydov V.Yu. et al // Supercond. Sci. Technol. 1993. Vol. 6. N 1. P. 23--29
  • Карманенко С.Ф., Давыдов В.Ю., Митрофанов А.П., Семенов А.А.// Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. Вып. 23. С. 69--74
  • Karmanenko S.F. // Supercond. Sci. Technol. 1999. Vol. 12. N 1. P. 36--44
  • Bert. N.A., Bobyl A.V. et al. // Physica C. 1997. Vol. 280. N 2. P. 121--136
  • Вишняков А.В. // Высокотемпературная сверхпроводимость. Фундаментальные и прикладные исследования. Л., 1990. С. 377--404
  • Savvides N., Katsaros A. // Physica C. 1994. Vol. 226. N 1. P. 23--35
  • Афросимов В.В., Ильин Р.Н., Карманенко С.Ф. и др. // ФТТ. 1999. Т. 41. Вып. 4. С. 588--595
  • Соколовская Е.М., Гузей Л.С. Металлохимия. М.: Изд-во МГУ, 1986. 264 С
  • Карманенко С.Ф., Свищев А.А., Семенов А.А. и др. // Письма в ЖТФ. Т. 25. Вып. 15. С.79--88
  • Schneider P., Linker G., Schneider R. et al. // Physica C. 1996. Vol. 266. P. 271--277
  • Карманенко С.Ф., Митрофанов А.П., Някшев К.Ф. и др. // ЖТФ. 1995. Т. 65. Вып. 1. С. 64--69
  • Морозов А.Н., Морозова О.Ю., Пономарев Н.М. // Сверхпроводимость: Физ. Хим. Технол. 1992. Т. 5. Вып. 2. С. 388--392
  • Nieh C.W., Anthony L., Josefowicz J.Y., Krajenbrink F.G. // Appl. Phys. Lett. 1990. Vol. 56. P. 2138--2141
  • Широкова Л.М., Петренко Н.А. // Изв. ЛЭТИ. 1991. Вып. 437. С. 46--50
  • Ginley S., Ashby C.I.H., Plut T.A. et al. // Appl. Phys. Lett. 1993. Vol. 63. N 17. P. 2429--2431
  • Stirling W.L., Tsai. C.C., Ryan P.M. // Rev. Sci. Instr. 1977. Vol. 48. P. 533--550
  • Vase P., Yueqiang S., Freltoft T. // Appl. Surf. Sci. 1990. Vol. 46. P. 61--66
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.