"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Роль ускоренного атомарного кислорода в формировании CuO пленок методом магнетронного распыления
Шер Э.М.1, Микушкин В.М.1, Сысоев С.Е.1, Мелех Б.Т.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 4 апреля 1996 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2000 г.

Методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС) исследован химический состав тонких пленок оксидов меди. Пленки получены магнетронным распылением металлической меди с одновременным ее окислением атомарным кислородом. Установлено, что в атмосфере молекулярного кислорода высокая степень окисления достигается только при относительно низких скоростях роста пленок v<100 Angstrem/min, в то время как в потоке ускоренных атомов кислорода удается радикально повысить скорость роста двухвалентного оксида меди до величин v>750 Angstrem/min, необходимых для значительного сокращения тепловой дозы и диффузионного размытия гетерограниц при создании слоистых структур, содержащих оксид меди.
  • Гордеев Ю.С., Копьев П.С., Мамутин В.В. и др. // Сверхпроводимость: физика, химия, техника. 1994. Т. 7. N 8--9. С. 1417--1425
  • Мамутин В.В., Копьев П.С., Захаревич А.В. и др. // Сверхпроводимость: физика, химия, техника. 1993. Т. 6. N 4. С. 797--806
  • Mamutin V.V., Kartenko N.F., Goloschapov S.I. et al. // Appl. Phys. Lett. 1994. Vol. 64. N 15. P. 2031--2033
  • Sysoev S.E., Mikoushkin V.M., Zacharevich A.V. // Abstracts of 14-=SUP=-th-=/SUP=- European Conf. on Surface Science Leipzig. 1994. P. 184
  • Sher E.M., Mansurov A.A., Mikoushkin V.M., Sysoev S.E. // Proc. 2-=SUP=-nd-=/SUP=- German-Russian Seminar of Physics of Novel Materials. St.Petersburg, 1995. P. 196
  • Уикс К.У., Блок Ф.Е. // Термодинамические свойства 65 элементов, их окислов, галогенидов, карбидов и нитридов. М.: Металлургия, 1965. С. 70--71
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.