"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние внутреннего геттера в кремнии на параметры структур Au--Si
Киселев В.К.1, Оболенский С.В.1, Скупов В.Д.1
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 30 марта 1998 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1999 г.

В работе показано, что применение внутреннего геттерирования примесей и дефектов в структурах Au--Si позволяет повысить их надежность и стабилизировать характеристики.
  • Немцев Г.З., Пекарев А.И., Чистяков Ю.Д. // Микроэлектроника. 1983. Т. 12. N 5. С. 432--439
  • Скупов В.Д. // Тез. докл. I Всероссийской конф. по материаловедению и физ.-хим. основам технологий получения легированных кристаллов кремния. М., 1996. С. 127
  • Павлов П.В., Семин Ю.А., Скупов В.Д., Тетельбаум Д.И. // ФТП. 1986. Т. 20. Вып. 3. С. 503--507
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.