"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности обратного рассеяния электронов средних энергий твердыми телами с различными порядковыми номерами элемента
Корнюшкин Ю.Д.1
1Санкт-Петербургский государственный институт точной механики и оптики (Технический университет), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 5 января 1997 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1999 г.

Обсуждается зависимость коэффициента обратного рассеяния первичных электронов от их энергии и от порядкового номера элемента Z. На основе использования амплитуды волновой функции, полученной в первом боновском приближении, и модели атома Томаса--Ферми вычислены значения постоянной экранирования атомными электронами электрического поля ядра. Проведено сравнение теоретически вычисленных интегральных коэффициентов обратного рассеяния первичных электронов с экспериментальными в интервале 12<Z<92 при энергиях первичных электронов 10 и 40 keV. Указана область возможных применений полученных результатов.
  • Валиев К.А., Раков А.В. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике. М., 1984. 352 с
  • Броудай И., Мерей Д. Физические основы микротехнологии. М., 1985. 496 с
  • Практическая растровая электронная микроскопия / Под ред. Д. Гоулдстейна, Х. Яковица. М., 1978. 275 с
  • Физические основы рентгеноспектрального локального анализа / Под ред. И.Б. Боровского. М., 1973. 312 с
  • Cox M., Love G., Scott V. // J. Phys. D. 1978. Vol. 12. P. 1441--1447
  • Janev R.K., Harrison M.F.A., Drawin H.W. // Nucl. Fusion. 1989. Vol. 29. P. 109--116
  • Woods M.E., Hopkins B.J., Matthews G.F. et al. // J. Phys. D. 1987. Vol. 20. P. 1136--1143
  • August H.J., Wernisch J. // J. Microscopy. 1990. Vol. 157. N 2. P. 247--254
  • Werner W., Tilinin I., Hayek M. // Phys. Rev. B. 1994. Vol. 50. N 7. P. 4819--4833
  • Kornyashkin Ju.D. // Thin Solid Films. 1990. Vol. 190. P. 373--382
  • Корнюшкин Ю.Д. // ФТТ. 1978. Т. 20. Вып. 4. С. 1175--1179
  • Корнюшкин Ю.Д. // Изв. АН СССР. Сер. Физ. 1982. N 12. С. 2288--2290
  • Jablonski A. // Surface and Interface Analysis. 1984. Vol. 6. N 6. P. 291--294
  • Корнюшкин Ю.Д. // Поверхность. 1992. N 12. С. 13--18
  • Корнюшкин Ю.Д. // Поверхность. 1993. N 6. С. 24--32
  • Комар А.П., Круглов С.П., Лопатин И.В. Измерение полной энергии пучков тормозного излучения от электронных ускорителей. Л., 1972. 236 с
  • Spenser L.D. // Phys. Rev. 1955. Vol. 98. N 6. P. 1597--1608
  • Tabata T., Ito R., Okabe S. // Jap. J. Appl. Phys. 1972. Vol. 11. P. 1220--1222
  • Радциг А.А., Смирнов Б.М. Параметры атомов и атомных ионов. Справочник. М., 1986. 344 с
  • Вятскин А.Я., Кабанов А.Н., Трунев В.В. // РиЭ. 1972. Т. 17. С. 1983--1998
  • Вятскин А.Я., Кабанов А.Н., Смирнов Б.Н., Трунев В.В. // РиЭ. 1976. Т. 21. С. 895--898
  • Корнюшкин Ю.Д. // ФТТ. 1979. Т. 21. Вып. 2. С. 627--629
  • Корнюшкин Ю.Д. // ФТТ. 1981. Т. 23. Вып. 9. С. 2842--2847
  • Kornyashkin Ju.D. // Phys. St. Sol (a). 1986. Vol. 95. Pt K81. P. 247--254
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.