Импульсный метод измерения емкости полупроводниковых структур с использованием балластного конденсатора
Монахов В.В.1, Уткин А.Б.1
1Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 19 мая 1998 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 1999 г.
Изложен простой в реализации метод измерения емкости полупроводниковых структур с помощью малых по амплитуде импульсов тока. Показано, что при использовании балластного конденсатора совместно с осуществлением процедуры градуировки точность описанного метода возможно значительно улучшить. Проведен детальный анализ влияния балластного конденсатора на процесс измерения.
- Chudobiak M.J. // Rev. Sci. Instr. 1995. Vol. 66. N 6. P. 3703--3705.
- Moore M.B. // MICRO'95 IREE Soc. Milsons Point. NSW (Australia), 1995. P. 186--188
- Шашкин И.В., Каретникова И.Р., Мюрель А.В. и др. // ФТП. 1997. Т. 31. Вып. 8. С. 926--930
- Романов О.В., Соколов М.А., Султанмагомедов С.Н. // Электрохимия. 1980. Т. 16. N 7. С. 935--943
- Монахов В.В., Уткин А.Б. // Вестн. СПбГУ. Сер. 4. 1997. Т. 3. N 18. С. 84--89
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
