"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Получение толстых пленок YBa2Cu3O7-x на сапфире с подслоем оксида церия
Гольдман Е.К.1, Плоткин Д.А.1, Разумов С.В.1, Тумаркин А.В.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 17 июля 1997 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1998 г.

Показана возможность получения высококачественных пленок высокотемпературного сверхпроводника YBa2Cu3C7-delta толщиной до 2.6 mum методом магнетронного распыления на постоянном токе. Обнаружено, что включения, состоящие из CuO и YBa2Cu3O8, сосуществуют с растущей пленкой и являются "стоками"в дефектов, нестехиометричных атомов и механических напряжений. Методами рентгеновской дифракции и резерфордовского обратного рассеяния установлено, что в предложенном технологическом режиме структурное совершенство пленок улучшается с увеличением толщины.
  • Vassenden F., Linker G., Geerk J. // Physica C. 1991. Vol. 175. P. 566--572
  • Sievers S., Mattheis F., Krebs H. // Appl. Phys. 1995. Vol. 78. P. 5545--5548
  • Carin A.H., Basu S.N., Muenchausen R.E. // Appl. Phys. Lett. 1991. Vol. 58(8). P. 871--873
  • Nieh C.W., Anthony l., Josefowicz J.Y. et al. // Appl. Phys. Lett. 1990. Vol. 56. P. 2138--2140
  • Garcia-Gonzalez E., Wagner G., Reedyk M. // Appl. Phys. 1995. Vol. 78. P. 353--359
  • Pennycook S.J., Chisholm M.F., Jesson D.E. et al. // Physica C. 1992. Vol. 202. P. 1--11
  • Hollmann E.K., Goldrin V.I., Plotkin D.A. et al. // Tech. Phys. Lett. 1996. Vol. 22(11). P. 942--943
  • Tian Y.J., Guo L.P., Li L. et al. // Appl. Phys. Lett. 1994. Vol. 65. P. 234--238
  • Hollmann E.K., Zaitsev A.G., Loginov V.E. et al. // J. Phys. D. 1993. Vol. 26. P. 504--506
  • Gong J.P., Kawasaki M., Fujito K. // Phys. Rev. B. 1994. Vol. 50. P. 3280--3286
  • Hollmann E.K., Goldrin V.I., Plotkin D.A. et al. // Phys. Sol. St. 1997. Vol. 39(2). P. 189--191
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.