"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Самораспространяющийся высокотемпературный синтез и твердофазные реакции в двухслойных тонких пленках
Мягков В.Г.1, Жигалов В.С.1, Быкова Л.Е.1, Мальцев В.К.1
1Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, Красноярск, Россия
Поступила в редакцию: 13 мая 1997 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1998 г.

Проведено исследование самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС) в двухслойных тонких пленках Al/Ni, Al/Fe, Al/Co. Установлено, что СВС в тонких пленках реализуется при температурах инициирования на 300-350o ниже, чем на порошках. Механизм СВС в тонких пленках аналогичен процессу взрывной кристаллизации. Показано, что в начальной стадии твердофазные реакции, возникающие на контактной поверхности пленочных конденсатов, могут быть самораспространяющимся высокотемпературным синтезом. СВС может найти применение в различных технологиях получения пленочных элементов для микроэлектроники.
  • Мержанов А.Г. // Физическая химия / Под ред. Колотыркина. М.: Химия, 1983. С. 6--45
  • Мержанов А.Г., Боровинская И.П. // ДАН СССР. 1972. Т. 204. N 2. С. 366
  • Вадченко С.Г., Булаев А.М., Гальченко Ю.А., Мержанов А.Г. // ФГВ. 1987. N 6. С. 46--56
  • Anselmi-Tambuini U., Munir Z.A. // J. Appl. Phys. 1989. Vol. 66. N 10. P. 5039
  • Физические величины / Под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова. М.: Энергоатомиздат, 1991. 1232 с
  • Лариков В.Н., Исайчев В.И. Структура и свойства металлов и сплавов. Диффузия в металлах и сплавах. Киев: Наукова думка, 1987. 511 с
  • Miagkov V.G., Kveglis L.I., Frolov G.I., Zhigalov V.S. // J. Mater. Sci. Lett. 1994. Vol. 13. P.1284--1286
  • Мягков В.Г., Бакшеев Н.В. // Письма в ЖТФ. 1992. Т. 18. Вып. 6. С. 14--17
  • Шкловский В.А., Кузьменко В.М. // УФН. 1989. Т. 157. N 2. С. 311--338
  • Gilmer G.H., Leamy H.J. // Laser and Electron-Beam Processing of Materials. New York: Academic Press. 1980. P. 227--232
  • Philpoh K.A., Munir Z.A., Holt J.B. // J. Mater. Sci. 1987. Vol. 22. P. 159--169.
  • Michaelsen C., Lucadamo G., Barmak K. // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 80. N 12. P. 6689
  • Физическое металловедение / Под ред. Р. Кана. Вып. 2. М.: Мир, 1968. 490 с
  • Coldan E.O., Cabral C., Kotecki Jr. et al. // J. Appl. Phys. 1995. Vol. 77. N 2. P. 614--619
  • Persson L., Bouanani M.El., Hult M. et al. // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 80. N 6. P. 3347--3354
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.