"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Анализ газов и индуцируемых ими поверхностных процессов с помощью поверхностных акустических волн
Анисимкин В.И.1, Котелянский И.М.1, Верона Э.2
1Институт радиотехники и электроники РАН, Москва, Россия
2Институт акустики им О.М. Кобрино, СНИ, Рим, Италия
Поступила в редакцию: 28 октября 1996 г.
Выставление онлайн: 21 января 1998 г.
Получено аналитическое выражение для величины газового "отклика" поверхностной акустической волны (ПАВ). Проведена его экспериментальная проверка. Теоретически предсказаны и экспериментально подтверждены основные особенности детектирования газов с помощью ПАВ. Проведено сравнение ПАВ датчиков газов с газочувствительными покрытиями и без них. Предложена методика определения с помощью ПАВ относительных изменений плотности Deltarho/rho и упругих модулей Delta C11/C11, Delta C44/C44 пленок при адсорбции (десорбции) газов. Показана возможность использования этой методики для анализа процессов адсорбции и десорбции. Проведено сравнение адсорбционных свойств поликристаллических, термически осажденных пленок палладия до и после их низкотемпературного отжига в вакууме, а также неотожженных пленок Pd и Pd : Ni. Обсуждены перспективы использования ПАВ для детектирования газов и изучения индуцируемых ими поверхностных процессов.
  • Verona E., Caliendo C., D'Amico A. SAW Gas Sensors / Ed. G. Sberveglieri. London: Kluwer. 1992. 281 p
  • Auld B.A. Acoustic Fields and Waves in Solids. New York; London; Sydney; Toronto: Wiley Interscience Publication, 1973. Vol. 2. 416 p
  • Анисимкин В.И., Котелянский И.М., Верарди П., Верона Э. // ФТТ. 1994. Т. 36. Вып. 2. С. 428--435
  • Анисимкин В.И., Котелянский И.М. // ЖТФ. 1985. Т. 55. Вып. 12. С. 2420--2421
  • Анисимкин В.И., Котелянский И.М. // ЖТФ. 1992. Т. 62. Вып. 2. С. 200--202
  • Anisimkin V.I., Kotelyanskii I.M., Fedosov V.I. et al. // Proc. IEEE Ultrason. Symp. Seattle, 1995. P. 515--518
  • Mecea V.M. // Sensors and Actuators. 1994. Vol. A40. P. 1--27
  • Anisimkin V.I., Kotelyanskii I.M., Verardi P., Verona E. // Sensors and Actuators. 1995. Vol. B23. P. 203--208
  • Martin S.J., Ricco A.J., Ginley D.S., Zipperian T.E. // IEEE Trans. 1987. Vol. UFFC-34. N 2. P. 143--147
  • Ricco A.J., Frye G.C., Martin S.J. // Langmuir. 1989. Vol. 5. P. 273--276
  • Glaves C.L., Frye G.C., Smith D.M. et al. // Langmuir. 1989. Vol. 5. P. 459--466
  • Kepley L.J., Crooks R.M., Ricco A.J. // Anal. Chem. 1992. Vol. 64. P. 3191--3193
  • Sun L., Thomas R.C., Crooks R.M., Ricco A.J. // J. Amer. Chem. Soc. 1991. Vol. 113. P. 8550--8552
  • Bucur R.V., Mecea V.M., Flanagan T.B. // Surf. Sci. 1976. Vol. 54. P. 477--488
  • Bucur R.V. // J. Catalysis. 1981. Vol. 70. P. 92--101
  • Cristofides C., Mandelis A. // J. Appl. Phys. 1989. Vol. 66. N 9. P. 3986--3992
  • Cristofides C., Mandelis A. // J. Appl. Phys. 1990. Vol. 68. N 6. P. R1--R30
  • Lewis F.A. // The Palladium Hydrogen System. London: New York: Acad. Pres. 1967. 178 p
  • Lundstrom I. // Sensors and Actuators. 1981. Vol. 1. P. 403--426
  • Lundstrom I. // Sensors and Actuators. 1981/1982. Vol. 2. P. 105--137
  • Hughes R.C., Taylor P.A., Ricco A.J., Rye R.R. // J. Electrochem. Soc. 1989. Vol. 136. N 9. P. 2653--2661
  • Литовченко В.Г., Лисовский И.П., Ефпемов А.А. и др. // Поверхность. 1995. N 10. C. 5--17
  • Анисимкин В.И., Котелянский И.М., Верона Э. // Поверхность. 1996. N 11. C. 20--27
  • Anisimkin V.I., Penza M., Osipenko V.A., Vasanelli L. // IEEE Trans. 1995. Vol. UFFC-42. N 6. P. 978--980
  • Anisimkin V.I., Penza M., Maksimov S.A., Vasanelli L. // Proc. IEEE Ultrasonic Sump. Seattle, 1995. P. 481--484
  • Виглеб Г. Датчики. Пер. с нем. М.: Мир, 1989. 196 с
  • Anisimkin V.I., Kotelyanskii I.M., Maximov S.A., Penza M. // Proc. Intern. Symp. on Accounstoelectronics, Frequency Control and Signal Generation. Moscow, 1996. P. 70
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.