Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Теоретическая модель для описания деградации тонких водородсодержащих пленок

Гадияк Г.В.¹, Гадияк В.Г.², Косинова М.Л.³, Сальман Е.Г.³

¹Институт вычислительных технологий СО РАН, Новосибирск, Россия Institute of Computational Technologies, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Institute of Computational Technologies, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

²Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия Novosibirsk State University, Novosibirsk, Russia

³Институт неорганической химии Сибирского отделения РАН, Новосибирск, Россия Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Institute of Inorganic Chemistry, Siberian Branch, Russian Academy of Sciences, Novosibirsk, Russia

Поступила в редакцию: 4 марта 1996 г.

Выставление онлайн: 20 июля 1997 г.

PDF версия

Предложена новая теоретическая модель для описания поведения пленок составных водородсодержащих соединений при термических обработках. В основе модели лежит термическая генерация атомов водорода и атомов составных соединений с их последующей диффузией к границам и просачиванием через поверхность в атмосферу. Выполнены расчеты по термической обработке пленок нитрида кремния. Сравнение с литературными экспериментальными данными показывает высокую эффективность предлагаемой модели.

Akkerman Z.L., Fainer N.I., Kosinova M.L. et al. // Proc. SPIE Int. Soc. Opt. Eng. 1992. Vol. 1783. P. 530--540
Akkerman Z.L., Kosinova M.L., Fainer N.I. et al. // Thin Solid Films. 1995. Vol. 260. P. 156--160
Polyakov O.V., Badalian M.V. // Phys. Stat. Sol. (b) 1994. Vol. 185. P. K1--K4
Ржанов А.В. Нитрид кремния в электронике. Новосибирск: Наука, 1982. 312 с
Аккерман З.Л., Храмова Л.В., Смирнова Т.П. и др. // Неорган. материалы. 1990. Т. 26. N 5. С. 988--992
Аккерман З.Л., Храмова Л.В., Смирнова Т.П. и др. // Неорган. материалы. 1990. Т. 26. N 5. С. 993--995
Chramova L.V., Chusova T.P., Kokovin G.A. // Thin Solid Films. 1987. Vol. 147. P. 267--273
Гриценко В.А. Строение и электронная структура аморфных диэлектриков в кремниевых МДП структурах. Новосибирск: Наука, 1993. 278 с
Robertson J. // Philosophical Magazine B. 1994. Vol. 69. N 2. P. 307--326
Warren W.L., Robertson J., Kanicki J. // Appl. Phys. Lett. 1993. P. 2685-2697
Гадияк Г.В. // ФТП. 1997. Т. 31. Вып. 3. С. 257--263
Литовченко В.Г., Горбань А.П. Основы физики микроэлектронных систем металл--диэлектрик--полупроводник. Киев: Наукова думка, 1978. 313 с
Stein H.J. Mat. Res. Soc. Symp. Proc. // 1986. Vol. 59. P. 523--531
Качурин Г.А., Тысченко И.Е. // Микроэлектроника. 1994. Т. 23. Вып. 6. C. 3-12
Deal B.E., Grove A.S. // J. Appl. Phys. 1965. Vol. 36. P. 3770--3785
Храмова Л.В., Чусова Т.П., Гриценко В.А. и др. // Электронная техника. Сер. 6. Материалы. 1984. Т. 1. С. 10--11

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель