Вышедшие номера
Пассивирующие свойства оксидов кремния, нанесенных на поверхность кремниевых высоковольтных p-n переходов методом катодно-реактивного распыления
Волле В.М., Воронков В.Б., Козлов В.А., Штейнбайс Е., Штэнбек К., Экке В.
Выставление онлайн: 20 декабря 1987 г.

Показано, что применение пленок оксидов кремния со встроенным положительным зарядом для пассивации поверхности приборов силовой электроники приводит к уменьшению обратных токов и стабилизации их вольтамперных характеристик. Пленки получены в реакторе магнетронного типа.