Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Эллипсометрическая методика определения показателя поглощения полупроводниковых нанослоев in situ
Косырев Н.Н., Швец В.А., Михайлов Н.Н., Варнаков С.Н., Овчинников С.Г., Рыхлицкий С.В., Яковлев И.А.1
1Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, Красноярск, Россия 
Поступила в редакцию: 7 июня 2013 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2014 г.
Разработан и реализован алгоритм, позволяющий на основании однозонных эллипсометрических измерений в процессе роста тонких полупроводниковых пленок решать обратную задачу эллипсометрии с целью определения показателя поглощения. Методика основана на анализе изменения эллипсометрических параметров Psi и Delta непосредственно в процессе роста. Апробация алгоритма проведена в процессе синтеза структур Si/SiO2/Si(100) и Hg1-xCdxTe.
- Асеев А.Л. // Российские нанотехнологии. 2006. Т. 1. N 1.2. C. 97
- Varnakov S.N., Komogortsev S.V., Ovchinnikov S.G. et al. // J. Appl. Phys. 2008. Vol. 104. P. 094 703
- Азам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 с
- Fujiwara H. Spectroscopic Ellipsometry. Principles and Application. Wiley, 2007. 369 p
- Aspenes D.E. // Thin. Sol. Films. 1993. Vol. 233. P. 1--8
- Сухорукова М.В., Скороходова И.А., Хвостиков В.П. // ФТП. 2000. Т. 34. Вып. 1. С. 57
- Ястребов С.Г., Гордеев С.К., Гаррига М. и др. // ФТП. 2006. Т. 40. Вып. 7. С. 850
- Швец В.А., Михайлов Н.Н., Дворецкий С.А. // Автометрия. 2011. Т. 47. N 5. С. 13--24
- Duncan W.M., Henck S.A., Kuehne J.W. et al. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1994. Vol. 12. N 4. P. 2779
- Варнаков С.Н., Комогорцев С.В., Bartolome J. и др. // Физика металлов и металловедение. 2008. Т. 106. N 1. С. 54--58
- Shvets V.A., Chikichev S.I., Pridachin D.N. et al. // Thin Sol. Films. 1998. Vol. 313--314. P. 561--564
- Швец В.А., Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В. // Опт. и спектр. 2004. Т. 97. N 3. С. 514--525
- Швец В.А., Дворецкий С.А., Михайлов Н.Н. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 11. С. 41--44
- Volkov N.V., Tarasov A.S., Eremin E.V. et al. // J. Appl. Phys. 2011. Vol. 109. P. 123 924
- Варнаков С.Н., Лепешев А.А., Овчинников С.Г. и др. // ПТЭ. 2004. N 6. С. 125--129
- Пат. РФ N 2302623. Эллипсометр. / Е.В. Спесивцев, С.В. Рыхлицкий, В.А. Швец. 2007. Бюл. N 19
- Aspnes D.E., Studna A.A. // Phys. Rev. B. 1983. Vol. 27. N 2. P. 985--1010
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
