Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 1996, выпуск 10 » Статья стр. 172
<<<>>>
Характеристики, особенности и примеры применения тороидального энергоанализатора в растровой электронной микроскопии
Аристов В.В.1, Дремова Н.Н.1, Рау Э.И.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
Поступила в редакцию: 23 марта 1995 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1996 г.
PDF версия
Разработан спектрометр обратнорассеянных электронов на основе секторного тороидального энергоанализатора и кольцевого детектора, конструктивно адаптированный к растровому электронному микроскопу. Проведено компьютерное моделирование эквипотенциалей и траекторий электронов в тороидальном дефлекторе, что позволило оптимизировать характеристики энергоанализатора для его специфического применения. На примере селективных изображений многослойной структуры и ряда снятых спектров отраженных электронов продемонстрирована эффективность предлагаемого решения.
  1. Niedrig H. J. Appl. Phys. 1982. Vol. 53. P. R15--R49
  2. Аристов В.В., Дремова Н.Н., Лихарев С.К., Рау Э.И. Электронная пром-сть. 1990. N 2. С. 44--46
  3. Wells O.C., Savoy R., Bailey P. Electron Beam Interaction with Solids / Ed. O'Hare. 1982. P. 287--298
  4. Reimer L., Bongeler R., Kassens M. et al. Scanning. 1991. Vol. 13. P. 381--391
  5. Дремова Н.Н., Зайцев С.И., Рау Э.И., Якимов Е.Б. Изв. РАН. Сер. физич. 1993. Т. 57. N 8. С. 9--13
  6. Калашников Н.П., Ремизович В.С., Рязанов М.И. Столкновения быстрых заряженных частиц в твердых телах. М.: Атомиздат, 1980. 272 с
  7. Дремова Н.Н., Рау Э.И., Ху Вень Го. Поверхность. 1995. N 1. С. 45--49
  8. Рау Э.И., Дремова Н.Н., Матвиенко А.Н. и др. Изв. РАН. Сер. физич. 1995. Т. 59. N 2. С. 87--90
  9. Аристов В.В., Дремова Н.Н., Зайцев С.И. и др. ДАН СССР. 1988. Т. 301. С. 611--613
  10. Seiler H. J. Appl. Phys. 1983. Vol. 54. P. R1--R17
  11. Афанасьев В.П., Явор С.Я. Электростатические энергоанализаторы для пучков заряженных частиц. М.: Наука, 1978. 224 с
  12. Баранова Л.А., Явор С.Я. ЖТФ. 1988. Т. 58. Вып. 2. С. 217--232
  13. Ewald H., Liebl H. Zs. Naturforsch. 1955. Vol. 10a. P. 872--876
  14. Wollnik H., Matsuo T., Matsuda H. Nuclear Instr. and Meth. 1972. Vol. 102. N 1. P. 13--17
  15. Decreau P., Prange R., Berthelier J. Rev. Sci. Instr. 1975. Vol. 46. N 8. P. 995--1007
  16. Зашквара В.В., Корсунский М.И., Редькин В.С. ЖТФ. 1968. Т. 38. Вып. 8. С. 1336--1343
  17. Smeenk R.G., Tromp R.M., Kersten H.H. et al. Nucl. Instr. and Meth. 1982. Vol. 195. P. 581--586
  18. Toffoletto F., Leckey R., Riley J. Nucl. Instr. and Meth. 1985. Vol. B12. P. 282--297
  19. Ghielmetti A.G., Shelley E.G. Nucl. Instr. and Meth. 1990. Vol. A298. P. 181--188
  20. Yavor M.I., Willnik H., Nappi M., Hartmann B. Nucl. Instr. and Meth. 1992. Vol. A311. P. 448--452
  21. Engelhardt H., Back W., Menzel D., Liebl H. Rev. Sci. Instr. 1981. Vol. 52. N 6. P. 835--839
  22. Дремова Н.Н., Рау Э.И., Робинсон В.Н.Е. ПТЭ. 1995. N 1. С. 144--150
  23. Werner U., Bethge H., Heydenreich J. Ultramicroscopy. 1982. N 8. P. 417--428
  24. Kulenkampff H., Spyra W. Z. Phys. 1954. Vol. 137. P. 416--425
  25. Darlington E.H. J. Phys. D. 1975. Vol. 8. P. 85--93
  26. Sternglass E.J. Phys. Rev. 1954. Vol. 95. P. 345--358
  27. Wells O.C. Scanning. 1979. Vol. 2. P. 199--216

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme