Расчет энергетического спектра ионов тяжелой компоненты и коэффициента распыления катода в тлеющем разряде в смеси газов
Кристя В.И.1
1Научно-исследовательский институт материалов электронной техники, Калуга, Россия
Поступила в редакцию: 4 апреля 1995 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1996 г.
Найденно приближенное аналитическое решение кинетического уравнения для функции распределения по энергиям ионов тяжелой компоненты в катодном слое разряда смеси инертных газов. Показано, что рассчитанный на основе полученного решения коэффициент распыления катода удовлетворительно согласуется с результатами численного моделирования, а зависимость долговечности катода от плотности разрядного тока - с экспериментальными данными.
- Chance D.A., Brusic V., Crawford V.S., Macinnes R.D. IBM J. Res. Develop. 1979. Vol. 23. N 2. P. 119--127
- Кристя В.И., Коржавый А.П. Материалы IX Всесоюз. конф. "Взаимодействие атомных частиц с твердым телом". Т. 2. М., 1989. С. 52--54
- Аитов Р.Д., Коржавый А.П., Кристя В.И. Обзоры по электронной технике. Сер. 6. 1991. N 5. С. 1--47
- Davis W.D., Vanderslice T.A. Phys. Rev. 1963. Vol. 131. N 1. P. 219--228
- Abril I., Gras-Marti A., Valles-Abarca J.A. Phys. Rev. A. 1983. Vol. 28. N 6. P. 3677--3678
- Кучинский В.В., Сухомлинов В.С., Шейкин Е.Г. ЖТФ. 1985. Т. 55. Вып. 1. С. 67--72
- Konovalov V.P., Bretagne J., Gousset G. J. Phys. D. 1992. Vol. 25. N 7. P. 1073--1079
- Фирсов О.Б., Кучинский В.В. Физика плазмы. 1992. Т. 18. N 1. С. 114--118
- Hall L.H. J. Appl. Phys. 1988. Vol. 64. N 5. P. 2630--2637
- Thompson B.E., Sawin H.H. J. Appl. Phys. 1988. Vol. 63. N 7. P. 2241--2251
- Farouki R.T., Hamaguchi S., Dalvie M. Phys. Rev. A. 1991. Vol. 44. N 4. P. 2664--2681
- Korgiaviy A.P., Kristya V.I. J. Appl. Phys. 1991. Vol. 70. N 9. P. 5117--5118
- Хастед Дж. Физика атомных столкновений. М.: Мир, 1965. 710 с
- Райзер Ю.П., Шнейдер М.Н. Физика плазмы. 1989. Т. 15. N 3. С. 318--325
- Paulick T.C. J. Appl. Phys. 1990. Vol. 67. N 6. P. 2774--2788
- Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Механика. М.: Наука, 1973. 208 с
- Gras-Marti A., Valles-Abarca J.A. J. Appl. Phys. 1983. Vol. 54. N 2. P. 1071--1075
- Калашников Н.П., Ремизович В.С., Рязанов И.И. Столкновения быстрых заряженных частиц в твердых телах. М.: Атомиздат, 1980. 272 с
- Коржавый А.П., Кристя В.И. ЖТФ. 1993. Т. 63. Вып. 2. С. 200--202
- Doughty D.K., Den Hartog E.A., Lawler J.E. Appl. Phys. Lett. 1985. Vol. 46. N 4. P. 352--354
- Czekaj D., Hollmann E.K., Kozirev A.B. et al. Appl. Phys. A. 1989. Vol. 48. N 6. P. 573--574
- Кучинский В.В., Шейкин Е.Г. Изв. вузов. Физика. 1987. N 8. С. 62--67
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук