Вышедшие номера
Размерный эффект в тонком сегнетоэлектрическом слое II. Планарный конденсатор
Вендик О.Г.1, Тер-Мартиросян Л.Т.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 января 1995 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1996 г.

Показано, что при расчете погонной емкости планарный конденсатор, образованный на поверхности тонкого сегнетоэлектрического слоя, можно приближенно заменить совокупностью элементарных плоских конденсаторов, емкость каждого из которых можно рассчитать с учетом размерного эффекта. Получены выражения для погонной емкости и эффективной диэлектрической проницаемости сегнетоэлектрического материала планарного конденсатора, зависящих от размеров конденсатора и приложенного поля смещения. Показано, что для более полного использования диэлектрической нелинейности сегнетоэлектрического материала необходимо выбирать ширину зазора между электродами планарного конденсатора не менее 30 мкм.