Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Исследование процессов термализации и диффузии потоков распыленных атомов в газах

Вольпяс В.А.¹, Гольман Е.К.¹, Цукерман М.А.¹

¹Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

St. Petersburg State Electrotechnical University “LETI", St. Petersburg, Russia

Поступила в редакцию: 22 ноября 1994 г.

Выставление онлайн: 19 марта 1996 г.

Рассматриваются процессы переноса распыленных атомов в пространстве дрейфа мишень-подложка при ионно-плазменном распылении. Предлагается одномерная модель процесса переноса, в которой на основе теории нелинейной диффузии посредством введения параметра рассеяния определяются основные характеристики прямого и диффузионного потоков. Изучены закономерности релаксации энергии и диффузионного движения распыленных атомов. Определены положения виртуальных источников термализованных распыленных атомов в пространстве дрейфа и соотношение прямого и диффузионного потоков в зависимости от условий разряда и сорта сталкивающихся частиц. Проведена корреляция результатов моделирования и экспериментального исследования при нанесении тонких пленок ВТСП. Результаты расчетов качественно согласуются с экспериментом.

Suzuki M., Enomoto Y., Murakami T., Jnamura T. J. Appl. Phys. 1982. Vol. 53. P. 1622--1629
Suzuki M., Murakami T. J. Appl. Phys. 1984. Vol. 56. P. 2330--2339
Gras-Marti A., Valles-Abarca J.A. J. Appl. Phys. 1983. Vol. 54. N 2. P. 1071--1078
Valles-Abarca J.A., Gras-Marti A. J. Appl. Phys. 1984. Vol. 55. N 5. P. 1370--1379
Westwood W.D. J. Vac. Sci. Technol. 1978. Vol. 15. N 1. P. 1--9
Robinson R.S. J. Vac. Sci. Technol. 1979. Vol. 16. N 2. P. 185--188
Sputtering by Particle Bombardment. / Ed. R. Behrisch. Berlin, Heidelberg, New York: Springer-Verlag, 1981. P. 336
Keller J.H., Simmons R.G. IBM. J. Res. Develop. 1979. Vol. 23. N 1. P. 24--37
Persson K.B. Phys. Fluids. 1962. Vol. 5. N 12. P. 1625--1632
Vendik O.G., Volpyas V.A., Hollman Ye.K. et. al. Vysokotemperaturnaya Sverhprovodimost. 1989. N 2. P. 6--28

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель