Условия конденсации и свойства пленок a-Si:H, полученных при различных значениях мощности ВЧ разряда
Сулеман Х.1, Филиков В.А.1, Лигачев В.А.1, Васильева Н.Д.1
1Московский энергетический институт,
Поступила в редакцию: 20 января 1992 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1994 г.
Исследована взаимосвязь условий получения, параметров морфологии, плотности состояний на уровне Ферми и макроскопических параметров пленок аморфного гидрированного кремния, полученных методом ВЧ ионно-плазменного распыления при различных значениях мощности разряда. Показано, что наблюдаемые изменения параметров материала вызваны сменой механизма конденсации SiH2 комплексов на поверхности пленок, выращиваемых при различных значениях технологических параметров.
- Томпсон М. Физика гидрогенизированного аморфного кремния / Под ред. Дж. Джоунопулоса, Дж. Люковски. Ч. I. М.: Мир, 1988. 390 с
- Robins J.L. Appl. Surf. Sci. 1988. Vol. 33/34. P. 379--394
- Ligachov V.A. Die Werke zum 35. Int. Wissenschaftl. Koll. Ilmenau, 1990. Ht. 4. S. 56--59
- Лигачев В.А., Гордеев В.Н., Филиков В.А., Сулеман Х. ФТП. 1991. Т. 25. Вып. 9. С. 1536--1541
- Den Boer W. J.de Phys. Coll. 1981. Vol. 42. N 4. Suppl. 10. P. C4.451--C4.454
- Лей Л. Физика гидрогенизированного аморфного кремния / Под ред. Дж. Джоунопулоса и Дж. Люковски. Ч. II. М.: Мир, 1988. 488 с
- Vanecek M., Abraham A., Stiko O. et al. Phys. Stat. Sol. (a). 1984. Vol. 83. P. 617--623
- Голикова О.А., Домашевская Э.П., Казанин М.М. и др. ФТП. 1989. Т. 23. Вып. 3. С. 450--455
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук