Вышедшие номера
Условия конденсации и свойства пленок a-Si:H, полученных при различных значениях мощности ВЧ разряда
Сулеман Х.1, Филиков В.А.1, Лигачев В.А.1, Васильева Н.Д.1
1Московский энергетический институт,
Поступила в редакцию: 20 января 1992 г.
Выставление онлайн: 20 июля 1994 г.

Исследована взаимосвязь условий получения, параметров морфологии, плотности состояний на уровне Ферми и макроскопических параметров пленок аморфного гидрированного кремния, полученных методом ВЧ ионно-плазменного распыления при различных значениях мощности разряда. Показано, что наблюдаемые изменения параметров материала вызваны сменой механизма конденсации SiH2 комплексов на поверхности пленок, выращиваемых при различных значениях технологических параметров.