"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование оптических и структурных свойств оксидных пленок на InP методом спектральной эллипсометрии
Швец В.А., Рыхлицкий С.В., Миттова И.Я., Томина Е.В.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
Email: shvets@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 22 июня 2012 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2013 г.

Методом спектральной эллипсометрии исследованы оптические свойства оксидных пленок, выращенных на InP различными способами. Проанализированы методические подходы и приемы для интерпретации результатов эллипсометрических измерений. Показано, что пленки, полученные оксидированием структур с магнетронно нанесенным хемостимулятором, имеют слабое поглощение, нормальный ход дисперсии показателя преломления и резкие границы раздела. В отличие от этого для пленок, полученных оксидированием InP с активными центрами, созданными электровзрывом ванадиевой проволоки, или нанесением хемостимулятора из золя или геля, наблюдаются сильные полосы поглощения во всем спектральном диапазоне и значительное размытие оптических свойств в интерфейсной области. Установлены пределы применимости экспресс-диагностики толщины исследуемых пленок, основанной на измерениях с помощью лазерного одноволнового эллипсометра.
  1. Миттова И.Я., Пшестанчик В.Р. // ДАН СССР. 1991. Т. 318. N 1. C. 139--143
  2. Nelson A., Geib K., Wilmsen C.W. // J. Appl. Phys. 1983. Vol. 54. N 7. P. 4134--4140
  3. Миттова И.Я., Свиридова В.В., Фетисова С.В., Головенко Н.А. // Неорганические материалы. 1992. Т. 28. N 2. С. 288--292
  4. Лапенко А.А., Самсонов А.А., Томина Е.В., Миттова И.Я., Сладкопевцев Б.В. // Конденсированные среды и межфазные границы. 2010. Т. 12. N 3. С. 268--275
  5. Лапенко А.А., Лисицын С.В., Томина Е.В., Валюхов Д.П., Миттова И.Я. // Неорганические материалы. 2008. Т. 44. N 11. C. 1293--1299
  6. Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В., Швец В.А. // Автометрия. 2011. Т. 47. N 5. С. 5--12
  7. Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет / Пер. с англ. М.: Мир, 1981. 583 с
  8. Fujiwara H. Spectroscopic Ellipsometry. John Wiley \& Songs Ltd. The Atrium, Chichester, West Sussex, England, 2007. 369 с
  9. Handbook of ellipsometry / Ed. by H.G. Tompkins, E.A Irene. William Andrew Publishing, Springer, 2005. 870 p
  10. Adachi S. Optical Constants of Crystalline and Amorphous Semiconductors. Numerical Data and Graphical Information. Kluwer Academic Publishers, 1999. 714 p
  11. Aspnes D.E. // Thin Sol. Films. 1982. Vol. 89. P. 249--262
  12. http://www.ioffe.ru/SVA/NSM/nk/index.html
  13. Yamagushi M., Ando K. // J. Appl. Phys. 1980. Vol. 51. N 9. P. 5007--5012
  14. Hashizume T., Saitoh T. // Appl. Phys. Lett. 2001. Vol. 78. N 16. P. 2318--2320
  15. Миттова И.Я., Сладкопевцев Б.В., Томина Е.В., Донцов А.И. // Неорганические материалы. 2011. Т. 47, N 8. C. 901--906
  16. Takeuchi H., Ha D., King T.-J. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2004. Vol. 22. N 4. P. 1337--1341
  17. Иевлев В.М., Миттова И.Я., Самсонов А.А., Томина Е.В., Кашкаров В.М. // ДАН. 2007. Т. 417. N 4. С. 497--501

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.