Вышедшие номера
Особенности структурных и оптических свойств пористого кремния, полученного в p+-эпитаксиальном слое на n-Si(111)
Леньшин А.С., Кашкаров В.М., Минаков Д.А., Агапов Б.Л., Домашевская Э.П., Ратников В.В., Сорокин Л.М.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 14 мая 2012 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2013 г.

Методами растровой электронной микроскопии и многокристальной рентгеновской дифракции исследованы особенности структурных и оптических свойств пористого кремния, полученного анодным травлением пластины n-Si(111) с p+-гомоэпитаксиальным слоем на одной из сторон. Найдено существенное отличие микроструктуры с обеих сторон образца. При старении в течение 4.5 месяцев наблюдался дрейф дифракционого пика por-Si от пика подложки на deltatheta=-42'' и -450'' для n-Si и p+-Si пористых слоев соответственно. Полоса фотолюминесценции, полученная от p+-слоя образца, в 2 раза уже полосы ФЛ от n-слоя при практически одинаковой интенсивности и сдвинута в сторону меньших длин волн (больших энергий) на 0.4 eV.