"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Синтез углеродных пленок в плазмохимическом реакторе на базе пучково-плазменного разряда
Шустин Е.Г.1, Исаев Н.В.1, Клыков И.Л.1, Песков В.В.1, Поляков В.И.1, Руковишников А.И.1, Темирязева М.П.1
1Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, фрязинский филиал, Фрязино, Московская обл., Россия
Email: shustin@ms.ire.rssi.ru
Поступила в редакцию: 28 февраля 2012 г.
Выставление онлайн: 22 января 2013 г.

Разработана модификация плазмохимического реактора на основе пучково-плазменного разряда для осаждения углеродных, в том числе алмазоподобных (DLC) пленок, отличающаяся от известных методов простотой управления энергетическими характеристиками ионного потока, воздействующего на пленку в процессе осаждения. Описана техника компьютерного моделирования характеристик ионного потока на электроизолированную поверхность в режиме модуляции потенциала плазмы, позволяющая прогнозировать энергию и поток ионов, воздействующих на осаждаемую пленку. Получены образцы DLC-пленок на металлических подложках. Методом зарядовой релаксационной спектроскопии выявлен эффект влияния адсорбированных паров воды и спирта на электрофизические свойства пленок, что свидетельствует о возможности использования полученных пленок в качестве активного адсорбирующего материала для химических сенсоров.
  • Исаев Н.В., Темирязева М.П., Тараканов В.П., Федоров Ю.В. // Прикладная физика. 2008. N 3. С. 73
  • Shustin E.G., Isaev N.V., Temiryazeva M.P., Fedorov Yu.V. // Vacuum. 2009. Vol. 83. N 11. P. 1350
  • Латышев Ю.И., Орлов А.П., Песков В.В. и др. // Физика. 2012. Т. 442. N 2. С. 181
  • Shustin E.G., Isaev N.V., Klykov I.L., Peskov V.V. // Vacuum. 2011. Vol. 85. P. 711
  • Курнаев В.А., Песков В.В., Чмиль А.И., Шустин Е.Г. // Прикладная физика. 2009. N 6. С. 118
  • Альперт Я.Л., Гуревич А.В., Питаевский Л.П. Волны и искусственные тела в приземной плазме. М.: Наука, 1974
  • Polyakov V.L., Ruloviishnikov A.I., Rossukanyi N.M., Druz B. // Material Research Society. Warrendale. PA. Vol. 699. Electrically Based Microstructural Characterization III. 2002. P. 219
  • Polyakov V.I., Rukovishnikov A.I., Rossukanyi N.M. et al. // Diamond and Related Materials. 2003. Vol. 12. P. 1776
  • Polyakov V.I., Mityagin A.Yu., Rukovishnikov A.I. Ibid. 2006. Vol. 15. P. 1926
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.