Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Особенности формирования короткопериодных многослойных композиций W/B4C
Копылец И.А., Кондратенко В.В., Зубарев Е.Н., Рощупкин Д.В.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия 
Поступила в редакцию: 26 января 2012 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2012 г.
Методами малоугловой рентгеновской дифрактометрии в Cu-Kalpha-излучении и электронной микроскопии поперечных срезов изучались количественные характеристики межслоевого взаимодействия в многослойных периодических композициях W/B4C, изготовленных магнетронным напылением. Установлено, что на образование перемешанных зон на границах слоев расходуется приблизительно 0.85 nm толщины слоя вольфрама. Перемешанные слои имеют плотность 13.4±0.7 g/cm3 и содержат вольфрам в связанном химически состоянии. Оценено влияние таких перемешанных зон на рентгеновскую отражательную способность многослойных композиций W/B4C. Предложен способ оценки толщины слоев при малом количестве пиков на дифрактограмме.
- Jankowski A.F., Makowiecki D.M., Wall M.A., McKernan M.A. // J. Appl. Phys. 1989. Vol. 65. N 11. P. 4450-4451
- Walton C.C., Thomas G., Kortright J.B. // Acta Metall. 1998. Vol. 46. No 11. P. 3767-3775
- Бибишкин М.С., Казаков Е.Д., Лучин В.И., Салащенко Н.Н., Чернов В.В., Чхало Н.И., Шевелько А.П. // Квант. электрон. 2008. Т. 38. Вып. 2. С. 169-171
- MacDonald M.A., Schafers F. Gaupp A. // Opt. Express. 2009. Vol. 17. N 25. P. 23 290-23 298
- Platonov Yu., Gomez L., Broadway D. // Proc. SPIE. 2002. Vol. 4782. P. 152-159
- Вайнер Ю.А., Клюенков Е.Б., Пестов А.Е., Прохоров К.А., Салащенко Н.Н., Фраерман А.А., Чернов В.В., Чхало Н.И. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2007. Т. 1. Вып. 1. С. 7-12
- Windt D.L., Craig W.W., Hailey C., Harrison F.A., Jimenes-Garate M., Kalyanaraman R., Mao P.H. // J. Appl. Phys. 2000. Vol. 88. N 1. P. 460-470
- Бугаев Е.А., Девизенко А.Ю., Зубарев Е.Н., Севрюкова В.А., Кондратенко В.В. // Металлофиз. новейшие технол. 2008. Т. 30. Вып. 11. С. 1533-1545
- Henke B.L., Lee P., Tanaka T.J., Shimabukuro R.L., Fujikawa B.K. / At. Data Nucl. Data Tables. 1982. Vol. 27. P. 1-144
- Akhsakhalyan A.A., Akhsakhalyan A.D., Kharitonov A.I., Kluenkov E.B., Murav'ev V.A., Salashchenko N.N. // Centr. Eur. J. Phys. 2005. Vol. 3. N 2. P. 163-177
- Виноградов А.В., Брытов И.А., Грудский А.Я. Зеркальная рентгеновская оптика. Л.: Машиностроение, 1989. 463 с
- Копылец И.А., Зубарев Е.Н., Кондратенко В.В., Ананьев К.А. // Физическая инженерия поверхности. 2011. Т. 9. Вып. 2. С. 182-187
- Самсонов Г.В., Марковский Л.Я., Жигач А.Ф. Бор, его соединения и сплавы. Киев: Изд-во АН УССР, 1960. 590 с
- Velamakanni A., Ganesh K.J., Zhu Y., Ferreira P.J., Ruoff R.S. // Adv. Funct. Mater. 2009. Vol. 19. P. 1-8
- Lazzari R., Vast N., Besson J.M., Baroni S., Dal Corso A. // Phys. Rev. Lett. 1999. Vol. 83. N 16. P. 3230-3233
- Коновалихин С.В., Пономарев В.И. // Журн. неорган. хим. 2009. Т. 54. Вып. 2. С. 229-236
- Siffalovic P., Jergel M., Chitu L., Majkova E. // J. Appl. Cryst. 2010. Vol. 43. P. 1431-1439
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
