"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Эллипсометрическая экспресс-методика определения толщины и профилей оптических постоянных в процессе роста наноструктур Fe/SiO2/Si(100)
Тарасов И.А, Косырев Н.Н., Варнаков С.Н., Овчинников С.Г., Жарков С.М., Швец В.А., Бондаренко С.Г., Терещенко О.Е.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 4 октября 2011 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2012 г.

Разработан и реализован алгоритм, позволяющий проводить эксперсс-контроль толщины и оптических постоянных структур в процессе роста. Проведена апробация алгоритма на структурах Fe/SiO2/Si(100), полученных в установке молекулярно-лучевой эпитаксии "Ангара". Значения толщин пленок, рассчитанные в ходе их роста, сравнены с данными рентгеноспектрального флуоресцентного анализа и просвечивающей электронной микроскопии.
  • Гомоюнова М.В., Гребенюк Г.С., Пронин И.И. и др. // ФТТ. 2011. Т. 53. Вып. 3. С. 564--568
  • Naik S.R., Rai S. et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2008. Vol. 41. P. 115 307 (6p)
  • Varnakov S.N., Ovchinnikov S.G., Bartolome J. et al. // J. Sol. Stat. Phenomena. 2011. Vol. 168--169. P. 277--280
  • Oura K., Lifshits V.G., Saranin A.A. et al. Surface Science An Introduction. Berlin. Springer-Verlag: Berlin Heidelberg, 2003. 489 p
  • Charmet J.C., de Gennes P.G. // J. Opt. Soc. Am. 1983. V. 73. N 12. P. 1777--1784
  • Швец В.А., Прокопьев В.Ю., Чикичев С.И., Аульченко Н.А. // Автометрия. 2007. Т. 43. N 5. С. 71--80
  • Chen T.P., Liu Y., Tse M.S., Ho P.F., Dong G., Fung S. // Appl. Phys. Lett. 2002. Vol. 81. N 25. P. 4724--4726
  • Дагман Э.Е., Любинская Р.И., Мардежов А.С., Свиташев К.К., Семененко А.И., Швец В.А. // Укр. физ. журн. 1984. Т. 29. N 2. С. 187--193
  • Швец В.А. // Автометрия. 1993. N 6. С. 25--33
  • Azzam R.M.A., Bashara N.M. Elipsometry and polirilized ligth. NY: North Holland Publishing Company, 1977. 583 p
  • Косырев Н.Н., Заблуда В.Н., Варнаков С.Н. и др. // ЖСХ. 2010. Т. 51. С. 104--108
  • Mathews J.H., Fink K.D. Numerical methods. Using Matlab. Jersey.: Prentice Hall, 2001. 715 p
  • Johnson P.B., Christy R.W. // Phys. Rev. B. 1974. Vol. 9. N. 12. P. 5056--5070
  • Варнаков С.Н., Лепешев А.А., Овчинников С.Г. и др. // ПТЭ. 2004. N 6. С. 125--129
  • Пат. РФ 2302623 Эллипсометр. / Спесивцев Е.В., Рыхлицкий С.В., Швец В.А. Бюл. N 19
  • Handbook of Optical Constants of Solids / Ed by E.D. Palik. Elsevier, 1998. 519 p
  • Бондаренко Г.В. // Препринт ИФСО-16Ф. Красноярск, 1974. C. 40
  • Варнаков C.Н., Яковлев И.А., Лященко С.А. и др. // Вестник СибГАУ. 2010. Т. 30. C. 45--51
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.