"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Фазовые превращения в пленках, осажденных лазерной абляцией Hf в атмосфере кислорода
Багмут А.Г.1, Багмут И.А.1, Жучков В.А.1, Шевченко М.О.1
1Национальный технический университет "Харьковский политехнический институт", Харьков, Украина
Email: Bagmut@kpi.Kharkov.ua
Поступила в редакцию: 29 июля 2011 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2012 г.

Изучены структура и фазовые превращения при отжиге пленок диоксида гафния, полученных импульсным лазерным распылением мишени Hf в атмосфере кислорода. Исследования проведены с помощью методов просвечивающей электронной микроскопии и электронографии. Установлено формирвание аморфной, тетрагональной, ромбической и моноклинной фаз HfO2. Для тетрагональной модификации HfO2 проявляется эффект эпитаксии на подложке (001) KCl. При отжиге аморфной пленки как в вакууме, так и в воздушной атмосфере происходит ее кристаллизация с образованием моноклинной модификации HfO2. Воздействие на аморфную пленку электронного луча в вакууме сопровождается образованием ромбической и моноклинной модификаций HfO2. При переходе от ромбической к моноклинной модификации HfO2 имеет место фазовый размерный эффект. На заключительном этапе кристаллизации доминирующей составляющей является моноклинная модификация, представленная дендритными кристаллами HfO2.
  • Глушкова В.Б., Кравчанская М.В., Кузнецов А.К., Тихонов П.А. Диоксид гафния и его соединения с оксидами редкоземельных элеметов. Л.: Наука, 1984. 176 с
  • Соколов А.А., Овчинников А.А., Лысенков К.М. и др. // ЖТФ. 2010. Т. 80. Вып. 7. С. 131--136
  • Aarik J., Mandar H., Kirm M., Pung L. // Thin Sol. Films. 2004. Vol. 466. P. 41--47
  • Ho V.-Y., Gong H., Wilk G.D. et al. // J. Appl. Phys. 2003. Vol. 93. N 3. P. 1477--1481
  • Aarik J., Aidla A., Mandar H. et al. // Appl. Surf. Sci. 2001. Vol. 173. P.`15--21
  • Пугачевский М.А., Заводинский В.Г., Кузьменко А.П. // ЖТФ. 2011. Т. 81. Вып. 2. С. 98--102
  • Багмут А.Г., Багмут И.А., Жучков В.А., Шевченко М.О. // Письма в ЖТФ. 2012. Т. 38. Вып. 1. С. 45--50
  • Багмут А.Г., Шипкова И.Г., Жучков В.А. // ЖТФ. 2011. Т. 81. Вып. 4. С. 102--110
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.