Вышедшие номера
Оптико-пирометрическая диагностика состояния кремния при наноимпульсном лазерном облучении
Ивлев Г.Д.1, Гацкевич Е.И.1
1Институт физики им. Б.И. Степанова Национальной академии наук Беларуси, Минск, Беларусь
Email: ivlev@inel.bas-net.by
Поступила в редакцию: 24 мая 2011 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2012 г.

Исследована динамика отражательной способности на lambda=0.53 mum и ИК-излучения кремния в интервале длин волн 0.9-1.2 mum в условиях наносекундного воздействия импульсов излучения рубинового лазера. При плотностях энергии облучения W ниже порога лазерно-индуцированного плавления поверхности полупроводникового кристалла подавляющий вклад в испускаемое им ИК-излучение облусловлен краевой фотолюминесценцией. С превышением порога плавления в наносекундной динамике детектируемого ИК-излучения наблюдается переход от фотолюминесценции к тепловому излучению образующегося расплава Si-фазы повышенной отражательной способности. Результаты пирометрических измерений пиковой температуры поверхности расплава в зависимости от W, получение на эффективной длине волны lambdae=1.04 mum детектриуемого ИК-излучения, согласуются с данными аналогичных измерений на lambdae=0.53 и 0.86 mum.