"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Оптико-пирометрическая диагностика состояния кремния при наноимпульсном лазерном облучении
Ивлев Г.Д.1, Гацкевич Е.И.1
1Институт физики им. Б.И. Степанова Национальной академии наук Беларуси, Минск, Беларусь
Email: ivlev@inel.bas-net.by
Поступила в редакцию: 24 мая 2011 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2012 г.

Исследована динамика отражательной способности на lambda=0.53 mum и ИК-излучения кремния в интервале длин волн 0.9-1.2 mum в условиях наносекундного воздействия импульсов излучения рубинового лазера. При плотностях энергии облучения W ниже порога лазерно-индуцированного плавления поверхности полупроводникового кристалла подавляющий вклад в испускаемое им ИК-излучение облусловлен краевой фотолюминесценцией. С превышением порога плавления в наносекундной динамике детектируемого ИК-излучения наблюдается переход от фотолюминесценции к тепловому излучению образующегося расплава Si-фазы повышенной отражательной способности. Результаты пирометрических измерений пиковой температуры поверхности расплава в зависимости от W, получение на эффективной длине волны lambdae=1.04 mum детектриуемого ИК-излучения, согласуются с данными аналогичных измерений на lambdae=0.53 и 0.86 mum.
  • Auston D.H., Surko C.M., Venkatesan T.N.C., Slusher R.E., Golovchenko J.A. // Appl. Phys. Lett. 1978. Vol. 33. P. 437--440
  • Ивлев Т.Д. // Письма в ЖТФ. 1982. Т. 8. N 8. С. 468--472
  • Ивлев Г.Д., Малевич В.Л. // Квант. электрон. 1988. Т. 15. N 12. С. 2584--2586
  • Ивлев Г.Д., Гацкевич Е.И. // ФТП. 2003. Т. 37. N 5. C. 622-628
  • Kemmler M., Wartmann G., von der Linde D. // Appl. Phys. Lett. 1984. Vol. 45. P. 159--161
  • Ballet T.S., Kools J.C.S., Dieleman J. // Appl. Surf. Sci. 1990. Vol. 46. P. 292--298
  • Xu X., Grigoropoulus C.P., Russo R.E. // Appl. Phys. Lett. 1994. Vol. 65. P. 1745--1747
  • Ивлев Г.Д. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. N 11. С. 86--90
  • Ivlev G.D., Gatskevich E.I. // Appl. Surf. Sci. 1999. Vol. 143. P. 265--271
  • Ivlev G.D., Gatskevich E.I., Sharaev D.N. // Proc. SPIE, 2001. Vol. 4157. P. 78--81
  • Гавриленко В.И., Грехов А.М., Корбутяк Д.В., Литовченко В.Г. Оптические свойства полупроводников. Справочник. Киев: Наукова думка, 1987. 607 с
  • Гуле Е.Г., Каганович Э.Б., Кизяк И.М., Манойлов Э.Г., Свечников С.В. // ФТП. 2005. Т. 39. N 4. С. 430--432
  • Регель А.Р., Глалов В.М. Физические свойства электронных расплавов. М.: Наука, 1980. 296 с
  • Снопко В.Н. Основы методов пирометрии по спектру теплового излучения. Минск: Ин-т физики им. Б.И. Степанова НАН Белоруссии, 1999. 224 с
  • Ивлев Г.Д., Гацкевич Е.И. // ФТП. 1996. Т. 30. N 11. C. 2097--2107
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.