"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние параметров электронного пучка и ионного потока на скорость плазменного азотирования аустенитной нержавеющей стали
Гаврилов Н.В.1, Меньшаков А.И.1
1Институт электрофизики УрО РАН, Екатеринбург, Россия
Email: gavrilov@iep.uran.ru
Поступила в редакцию: 11 мая 2011 г.
Выставление онлайн: 19 февраля 2012 г.

Метод азотирования металлов в плазме электронного пучка использован для изменения плотности тока и энергии ионов азота при постоянной температуре образца путем изменения параметров электронного пучка (5-20 A, 60-500 eV). Пучок генерировался источником электронов на основе разряда с самонакаливаемым полым катодом. Нержавеющая сталь 12Х18Н10Т насыщалась азотом при 500oC в течение 1 h. Измерением микротвердости на поперечных шлифах образцов получены зависимости толщины азотированного слоя от плотности ионного тока (1.6-6.2 mA/cm2), энергии ионов (100-300 eV), давления азотно-аргоновой смеси (1-10 Pa). Толщина слоя уменьшается на 4-5 mum с ростом энергии ионов на 100 V и возрастает от 19 до 33 mum при увеличении плотности ионного тока. Зависимость от давления имеет максимум. Полученные результаты противоречат выводам теории об ограничении толщины слоя ионным распылением, а величина эффективного коэффициента диффузии значительно превышает известные литературные данные.
  • Czerwiec T., Huan He, Marcos G., Thiriet T., Weber S., Michel H. // Plasma Proc. and Polymers. 2009. Vol. 6. P. 401--409
  • Tsubouchi N., Mokuno Y., Chayahara A., Horino Y. // Surface and Coatings Technology. 2005. Vol. 196. P. 271--274
  • Christiansen T.L., Somers M.A.J. // Met. Mat. Trans. A. 2009. Vol. 40. P. 1791--1798
  • Galdikas A., Moskalioviene T. // Comp. Mat. Sci. 2010. Vol. 50. P. 796--799
  • Figueroa C.A., Wisnivesky D., Hammer P., Lacerda R.G., Droppa R. Jr., Merques F.C., Alvarez F. // Surf. Coatings Technology. 2001. Vol. 146--147. P. 405--409
  • Lei M.K., Zhub X.M. // Surf. Coatings Technology. 2005. Vol. 193. P. 22--28
  • Manova D., Gerlach J.W., Scholze F., Mandl S., Neumann H. // Surf. and Coatings Technology. 2010. Vol. 204. P. 2919--2922
  • Muratore C., Leonhardt D., Walton S.G., Blackwell D.D., Fernsler R.F., Meger R.A. // Surf. Coatings Technolgy. 2005. Vol. 191. P. 255--262
  • Abraha P., Yoshikawa Y., Katayama Y. // Vacuum. 2009. Vol. 83. P. 497--500
  • Гаврилов Н.В., Мамаев А.С. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. N 15. С. 57--65
  • Parascandola S., Kruse O., Moller W. // Appl. Lett. 1999. Vol. 75. N 13. P. 1851--1853
  • Moller W., Parascandola S., Telbizova T., Gunzel R., Richter E. // Surf. and Coatings Technology. 2001. Vol. 136. P. 73--79
  • Sun Y., Li X.Y., Bell T. // J. Mat. Sci. 1999. Vol. 34. P. 4793--4802
  • Будилов В.В., Рамазанов К.Н. // Вестн. УГАТУ. 2008. Т. 10. N 1 (26). С. 82--86
  • Гаврилов Н.В., Мамаев А.С., Медведев А.И. // Изв. вузов. Физика. 2009. Т. 52. N 11/2. С. 166--171
  • Sputtering by particle bombardment I / Ed. by R. Behrish Berlin--Heidelberg--NY--Tokio: Springer--Verlag. 1983. 336 p
  • Sigmund P. // Phys. Rev. 1969. Vol. 184. N 2. P. 383--416
  • Ziegler J.F., Biersak J.P., Littmark U. The Stopping and range of ions in solids. NY: Pergamon, 1996. 192 p
  • Kofstad P. High-Temperature Oxidation of Metals. NY: Wiley, 1996. 392 p
  • Tibbetts G.G. // J. Appl. Phys. 1974. Vol. 45. N 11. P. 5072--5073
  • Rettner C.T., Stein H. // Phys. Rev. Lett. 1987. Vol. 59. N 25. P. 2768--2771
  • Tatarova E., Guerra V., Henriques J., Ferreira C.M. // J. Phys. Conf. Ser. 71. 2007. 012 010. 11 p
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.