Ионное распыление многокомпонентных мишеней: изменение состава поверхности и эмиссия кластеров
Кудрявцев Ю.1
1Отделение твердотельной электроники Центра исследований и передового обучения Национального политехнического института, Мехико, Мексика
Email: yuriyk@cinvestav.mx
Поступила в редакцию: 4 апреля 2011 г.
Выставление онлайн: 20 января 2012 г.
Исследован эффект преимущественного распыления компонентов, наблюдаемый при облучении многокомпонентных мишеней ионами средних энергий. Для описания преимущественного распыления предложен новый термин - "выход распыления поверхности", определяемый как среднее число атомов i-й компненты, распыленных непосредственно из верхнего моноатомного слоя поверхности в расчете на один первичный ион. Показано, что выход распыления димера пропорционален поверхностной концентрации компоненты, образующей этот димер, что дает возможность по составу потока распыления оценивать степень преимущественного распыления и определять состав поверхности травления.
- Betz G., Wehner G.K. In "Sputtering by particle bombardment II", edited by R. Behrisch, Springer-Verlag, Berlin, 1983. P. 89
- Malherbe J.B. // Critical Review in Solid State and Material Science. 1994. Vol. 19. P. 129--195
- Sigmund P. // Mat. Fiz. Medd. Dan. Vid. Selsk. 1993. P. 1
- Wittmaack K. In "Sputtering by particle bombardment III", edited by R. Behrisch and K. Wittmaack, Springer-Verlag, Berlin, 1991. P. 161
- Sigmund P. In "Sputtering by particle bombardment I", edited by R. Behrishc, Springer-Verlag, Berlin, 1981. P. 18
- Кудрявцев Ю. Эмиссия нейтралей из полупроводниковых соединений AIIIBV при распылении ионами низких энергий. Диссертация. Санкт-Петербургский государственный технический университет, С.-Петербург, 1998
- Gerhard W.Z. // Physik B. 1975. Vol. 22. P. 31--39
- Yamamura Y. Proceedings of the 9th Int. Conference on Secondary Ion Mass Spectrometry / Ed. by A. Benninghoven et al., N.Y.: Wiley, 1994. P. 3
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук