"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Новая технология газогетерогенного синтеза наноструктурированных металлических слоев из малоразмерных летучих металлокомплексов
Бадалян А.М., Бахтурова Л.Ф., Каичев В.В., Поляков О.В., Пчеляков О.П., Смирнов Г.И.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Email: trend@niic.nsc.ru
Поступила в редакцию: 29 ноября 2010 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2011 г.

Предложена и экспериментально апробирована новая технология формирования тонких наноструктурированных слоев на полупроводниковых и диэлектрических подложках газогетерогенным синтезом из малоразмерных летучих комплексов металлов. Тонкие наноструктурированные слои меди на кремниевых и кварцевых подложках получены из малоразмерных летучих формиатных комплексов в условиях процесса совмещенного синтеза-переноса. Установлено, что медь в слоях, полученных этим методом, преимущественно находится в металлическом состоянии (Cu0) в виде плотно упакованных наноразмерных гранул с характерной структурой.
  • Dobkin D.M., Zuraw M.K. Principles of Chemical Vapor Deposition. Dordrecht: Kluwer Ac. Pub., 2003. 279 p
  • Cheng C.H., Jones K.A., Motyl K.M. // J. Electron. Mater. 1984. Vol. 13. N 4. P. 703
  • Igumenov I.K. // J. Phys. IV France. 1995. Vol. 5. P. C5--489
  • Теоретическая и прикладная химия beta-дикетонатов металлов / Под ред. В.И. Спицына, Л.И. Мартыненко. М.: Наука, 1985. 271 с
  • Gotkis Y., Guha S. // J. Electron. Mater. 2001. Vol. 30. N 4. P. 396--399
  • Rice F.O. // Trans. Faraday Soc. 1934. Vol. 30. P. 152--169; Paneth F.A., Hofeditz W. // Chem. Ber. 1929. Vol. 62. P. 1335
  • The Extraction of Nickel from its Ores by the Mond Process // Nature. 1898. Vol. 59. P. 63--64
  • Поляков О.В., Бадалян А.М. // Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19. Вып. 5. С. 60--62
  • Поляков О.В., Бадалян А.М., Белый В.И. // Химия в интересах устойчивого развития. 2000. Т. 8. N 1--2. С.217--221.
  • Wagner C.D., Riggs W.M., Davis L.E., Moulder J.F. Handbook of X-Ray Photoeldctron Spectroscopy / Ed. by G.E. Muilenberg. Eden Prairie: Perkin-Elmer Corporation, 1978
  • Shirley D.A. // Phys. Rev. B. 1972. Vol. 5. P. 4709--4714
  • Kibar R., Cetin A., Can N. // Physica B: Condensed Matter. 2009. Vol. 404. N 1. P. 105--110
  • Fu Z., Li M., Yang B., Liu R. // Thin Solid Films. 2001. Vol. 389. P. 12--15
  • Lupina G., Schroeder T., Dabrowski J., Wender Ch., Mane A.U., Mussig H.-J., Hoffmann P., Schmeisser D. // J. Appl. Phys. 2006. Vol. 99. P. 114 109--1--8
  • Platzman I., Brener R., Haick H., Tannaenbaum R. // J. Phys. Chem. C. 2008. Vol. 112. P. 1101--1108
  • Otamiri J.C., Andersson S.L.T., Andersson A. // Appl. Phys. Catal. 1990. Vol. 65. P. 159--174
  • Khassin A.A., Yurieva T.M., Demeshkina M.P., Kustova G.N., Itenberg I.Sh., Kaichev V.V., Plyasova L.M., Anufrienko V.F., Molina I.Yu., Larina T.V., Baronskaya N.A., Parmon V.N. Phys. Chem. Chem. Phys. 2003. Vol. 5. P. 4025--4031
  • Bertrand G. // Compt. Rend. 1923. Vol. 177. P. 997--999
  • Keller A. // Nature. 1951. Vol. 167. P. 907--908
  • Keller A., Korosy F. // Nature. 1948. Vol. 162. P. 580--582
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.