Вышедшие номера
Новые возможности количественного анализа в спектроскопии потерь энергии отраженных электронов структур Fe/Si
Паршин А.С., Кущенков С.А., Александрова Г.А., Овчинников С.Г.1
1Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, Красноярск, Россия
Поступила в редакцию: 24 июня 2010 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2011 г.

На примере слоистых структур железа на кремниевых подложках показана возможность определения элементного состава, химического состояния и распределения элементов по толщине приповерхностной области из результатов компьютерного моделирования сечения неупругого рассеяния электронов в рамках диэлектрической теории и экспериментального определения произведения средней длины неупругого пробега на сечение неупругого рассеяния электронов по потерям энергии из спектров потерь энергии отраженных электронов.