Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2011, выпуск 3 » Статья стр. 45
<<<>>>
Моделирование положительного столба тлеющего разряда в смеси инертных газов и хлора с учетом диссоциации молекул хлора
Головицкий А.П.1
1Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Email: alexandergolovitski@yahoo.com
Поступила в редакцию: 8 июля 2010 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2011 г.
PDF версия
Представленная модель положительного столба (ПС) тлеющего разряда среднего (5-30 Torr) давления в смеси инертных газов с хлором при токах до 50 mA/cm2 развивает существующие модели разрядов в электроотрицательных газах. Новым является введение в модель радиальной неоднородности газовой температуры и диссоциации молекул хлора на атомы, а также учет нагрева ионов электрическим полем и ступенчатой ионизации. В результате рассчитанные радиальные профили концентраций заряженных частиц не только качественно согласуются с ранее разработанными теориями электроотрицательных разрядов, но и количественно соответствуют экспериментальным данным. Показано, что для такого соответствия в модели ПС тлеющего разряда в смеси инертных газов и хлора при указанных условиях необходим учет диссоциации молекул хлора и влияния продольного поля Ez на ионные температуры. Но при оценке ионных температур можно не учитывать радиальное поле Er. Продемонстрирована малость вклада тока ионов в общий ток разряда, что ранее лишь постулировалось. Показано, что доминирующим механизмом гибели электронов и положительных ионов является диффузионное устранение, поэтому можно пренебречь электрон-ионной рекомбинацией, а в балансе положительных ионов - и ион-ионной.
  1. Головицкий А.П., Лебедев С.В. // Опт. и спектр. 1997. Т. 82. N 2. С. 251--255
  2. Ломаев М.И., Панченко А.Н., Скакун В.С., Соснин Э.А., Тарасенко В.Ф. // Оптика атмосферы и океана. 1996. Т. 9. N 2. С. 199--206
  3. Lee Y.T., Lieberman M.A., Lichtenberg A.J. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1997. Vol. 15. N 1. P. 113--126
  4. Franklin R.N., Daniels P.G., Snell J. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1993. Vol. 26. P. 1638--1649
  5. Franklin R.N., Snell J. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1994. Vol. 27. P. 2102--2106
  6. Lichtenberg A.J., Kouznetsov I.G., Lee Y.T., Liebermann M.A., Kaganovich I.D., Tsendin L.D. // Plasma Sources Sci. Technol. 1997. Vol. 6. P. 437--449
  7. Volynets V.N., Lukyanova A.V., Rakhimov A.T., Slovetsky D.I., Suetin N.V. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1993. Vol. 26. P. 647--656
  8. Головицкий А.П. // Тр. СПбГПУ. 2008. N 500. С. 229--233
  9. Головицкий А.П. // Науч.-технич. ведомости СПбГПУ. Сер. "Физ.-мат. науки". 2009. N 4 (88). С. 125--133
  10. Ellis H.W., McDaniel E.W., Albritton D.L., Viehland L.A., Lin S.L., Mason E.A. // Atomic Data. Nucl. Data Tables. 1978. Vol. 22. N 3. P. 179--217
  11. Голант В.Е., Жилинский А.П., Сахаров И.Е. Основы физики плазмы. М.: Атомиздат, 1977. 384 с
  12. Massey H.S.W. // Proc. Roy. Soc. London A. 1936. Vol. 155. P. 472--489
  13. Font G.I., Boyd I.D. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1997. Vol. 15. N 2. P. 313--319
  14. Puech V., Mizzi S. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1991. Vol. 24. P. 1974--1985
  15. Ferreira C.M., Gousser G., Touzeau M. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1988. Vol. 21. P. 1403--1413
  16. Смирнов Б.М. Физика слабоионизованного газа. М.: Наука, 1972. 416 с
  17. Головицкий А.П. // Науч.-технич. ведомости СПбГПУ. Сер. "Физ-мат. науки". 2009. N 2 (77). С. 105--112
  18. Rogoff G.L., Kramer J.M., Piejak R.B. // IEEE Trans. Plasma Sci. 1986. Vol. PS-14. N 2. P. 103--111
  19. Pinhao N., Chouki A. // Proc. of the ICPIC XXII. Hoboken (USA), 1995. Pt. II. P. 5--6
  20. Morgan W.L. // Plasma Chem. Plasma Proc. 1972. Vol. 12. N 4. P. 449--475
  21. Moratz T.J., Saunders T.D., Kushner M.J. // Appl. Phys. Lett. 1989. Vol. 54. P. 102--104
  22. Светцов В.И., Максимов А.И., Куприяновская А.П. // Электронная техника. Сер. I. Электроника СВЧ. 1977. N 8. С. 24--29
  23. Church M.J., Smith D. // J. Phys. D: Appl. Phys. 1978. Vol. 11. P. 2199--2206
  24. Rapp D., Englander-Golden P. // J. Chem. Phys. 1965. Vol. 43. P. 1464
  25. Ganas P.S. // J. Appl. Phys. 1988. Vol. 63. N 2. P. 277--279
  26. Boeuf J.P., Pitchford L.C. BOLSIG (freeware) <http://www.sni.net/siglo>; Kinema Research \& Software
  27. Hyman H.A. // Phys. Rev. A. 1979. Vol. 20. N 3. P. 855--859
  28. Vriens L., Smeets A.H.M. // Phys. Rev. A. 1980. Vol. 22. N 3. P. 940--951
  29. Головицкий А.П. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 5. С. 12--16.
  30. Головицкий А.П. // Науч.-технич. ведомости СПбГПУ. 2008. N 3. C. 87--94
  31. Ku J.K., Setser D.W. // Appl. Phys. Lett. 1986. Vol. 48. N 11. P. 689--691
  32. Головицкий А.П. // Тр. IV Междунар. конф. "Актуальные проблемы электронного приборостроения APEIE-98". Новосибирск, 1998. Т. 2. С. 153--154
  33. Цендин Л.Д. // ЖТФ. 1989. Т. 59. Вып. 1. С. 21--28
  34. Franklin R.N. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2003. Vol. 36. P. 828--831.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme