"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Измерение глубоких микрорельефов и стереосъемка в растровой электронной микроскопии
Саксеев Д.А., Ершенко Е.М., Барышев С.В., Бобыль А.В., Агафонов Д.В.1
1Санкт-Петербургский государственный технологический институт (Технический университет), Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 6 апреля 2010 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2010 г.

Проанализированы принципиальные различия между обычной фотографией и съемкой микрообъектов в растровой электронной микроскопии (РЭМ). Описаны основные правила и приемы для получения стереоскопических изображений в РЭМ методом поворота образца, а также техника их наблюдения. Показано, что стереофотография дает правильную оценку пространственного взаимного расположения элементов образцов со сложным микрорельефом и позволяет с высокой точностью рассчитывать глубину (в ряде случаев превышающую размер поля зрения при больших увеличениях) этого рельефа в широких пределах (от 0.5 до 100 mum). На примере развитой поверхности оксида Li4Ti5O12 и нитевидных монокристаллов GaAs описана методика такого расчета, основанная на линейных измерениях одного и того же участка образца, снятого до и после его поворота.
  • Schwartz A.J., Kumar M., Adams B.L. Electron backscatter diffraction in materials science. NY: Kluwer Academic-Plenum Publishers, 2000. 342 p
  • Гоулдстейн Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч., Лифшин Э. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. М.: Мир, 1984. Ч. 1. 303 с
  • Ноздрин Ю.Н., Пестов Е.Е., Курин В.В., Барышев С.В., Бобыль А.В., Карманенко С.Ф., Саксеев Д.А., Сурис Р.А. // ФТТ. 2006. Т. 48. Вып. 12. С. 2136-2145
  • Кошелев Б.М. От "электрического глаза" А. Столетова до современного телевизора. <http://www.rt.mipt.ru/misc/radio/index7.html>
  • Блейкер А. Применение фотографии в науке. М.: Мир, 1980. 248 с
  • Горяев А. Геометрия стереосъемки. <http://www.ixbt.com/digimage/stereogeometry.shtml>
  • Okada M. // JEOL News. 1976. Vol. 13. Iss. 2. P. 7-10
  • Lane G.S. // J. Sci. Instruments (J. Physics E). 1969. Vol. 2. Iss. 2. P. 565-569
  • <http://www.stereomaker.net>
  • Watt I. // Microscopy and Analysis. 2002. Vol. 16. Iss. 6. P. 19-21
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.