"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
О механизме формирования химического состава тонкопленочных слоев из дихалькогенидов переходных металлов при импульсном лазерном осаждении
Фоминский В.Ю., Романов Р.И., Гнедовец А.Г., Неволин В.Н.1
1Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
Email: vyfominskij@mephi.ru
Поступила в редакцию: 16 февраля 2010 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2010 г.

На примере тонкопленочных покрытий MoSex исследованы особенности формирования химического состава халькогеносодержащих слоев при импульсном лазерном осаждении в вакууме и в разреженных газах (Ar, H2). Установлено, что применение газов позволяет повышать концентрацию селена и несколько выравнивать распределение состава по поверхности подложки. Для выяснения механизмов формирования слоев MoSex использовалась компьютерная модель, имитирующая движение импульсного лазерно-инициированного атомарного потока через разреженную газовую среду. С помощью этой модели проведен расчет энергетических и угловых параметров атомарных потоков Mo и Se при осаждении на подложку. Показано, что особенности динамики разлета компонентов лазерного факела (Mo и Se) и селективное распыление селена являются основными факторами, определяющими формирование химического состава и его распределение по поверхности подложки. Рассмотрено влияние природы газовой среды на эффективность торможения и рассеяния атомарного потока и потери осаждаемой массы при прохождении через различные газы.
  • Shtansky D.V., Lobova T.A., Fominski V.Yu. et al. // Surface and Coatings Technology. 2004. Vol. 183. P. 328--336
  • Abou-Ras D., Kostorz G., Bremaud D. et al. // Thin Solid Films. 2005. Vol. 480--481. P. 433--438
  • Teer D.G. // Wear. 2001. Vol. 251. P. 1068--1074
  • Fominski V.Yu., Nevolin V.N., Romanov R.I. et al. // Tribology Lett. 2004. Vol. 17. N 2. P. 289--294
  • Fominski V.Yu., Nevolin V.N., Romanov R.I. et al. // J. Appl. Phys. 2001. Vol. 89. N 2. P. 1449--1457
  • Неволин В.Н., Фоминский В.Ю., Гнедовец А.Г. и др. // ЖТФ. 2007. Т. 77. Вып. 11. С. 88--95
  • Фоминский В.Ю., Калустян Г.Г., Романов Р.И. и др. // Упрочняющие технологии и покрытия. 2009. N 9. С. 20--27
  • Fominski V.Yu., Markeev A.M., Nevolin V.N. et al. // Thin Solid Films. 1994. Vol. 248. P. 240--246
  • Неволин В.Н., Фоминский В.Ю., Гнедовец А.Г. и др. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 1. С. 118--124
  • Неволин В.Н., Фоминский В.Ю., Гнедовец А.Г. и др. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 11. С. 120--127
  • Hansen T.N., Schou J., Lunney J.G. // Appl. Surface Sci. 1999. Vol. 138--139. P. 184--187
  • Bird G.A. Molecular Gas Dynamics and the Direct Simulation of Gas Flows. Oxford: Clarendon Press, 1994
  • Bern\`ede J.C. // Appl. Surface Sci. 2001. Vol. 171. P. 15--20
  • Ziegler J.F., Ziegler M.D., Biersack J.P. <http://www.srim.org/>
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.