"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Определение оптических свойств и толщины нанослоев по угловым зависимостям коэффициента отражения
Биленко Д.И.1, Сагайдачный А.А.1, Галушка В.В.1, Полянская В.П.1
1Саратовский национальный исследовательский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского, Саратов, Россия
Email: bil@sgu.ru
Поступила в редакцию: 28 мая 2009 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2010 г.

Исследованы возможности многопараметрового определения свойств структур на основе данных о зависимости коэффициентов отражения поляризованного излучения Rp, Rs и отношения Rp/Rs от угла падения theta, а также на основе угловой зависимости 1/Rp(Delta R/Deltatheta). Данные натурных и вычислительных экспериментов показали высокую чувствительность угловой зависимости коэффициента отражения Rp(theta) к значениям оптических констант и толщине слоистых структур. Количественные результаты многопараметровых измерений проверены независимым методом спектральной эллипсометрии. Установлены возможности многопараметрового определения свойств и толщины нанометровых диэлектрических, металлических и полупроводниковых слоев на различных подложках и свойств подложек в таких структурах.
  • Kovalenko S.A., Lisitsa M.P. // Semiconductors Physics, Quantum Electronics, and Optoelectronics. 2001. Vol. 4. N 4. P. 352-357
  • Физика тонких пленок / Под ред. Г. Хасса и Р.Э. Туна. Т. 4. М.: Мир, 1970. С. 7-122
  • Kovalenko S.A., Lisitsa M.P. // Semiconductor Physics, Quantum Electronics, and Optoelectronics. 2002. Vol. 5. N 3. P. 294-299
  • Физика тонких пленок / Под ред. В.С. Хангулова. Т. 1. М.: Мир, 1967. 344 с
  • Биленко Д.И., Дворкин Б.А., Дружинина Т.Ю. и др. // Опт. и спектр. 1983. Т. 55. N 5. С. 885-890
  • Левченко А.С. Разработка и совершенствование оптических методов измерения комплексной диэлектрической проницаемости и толщины наноразмерных пленок. Автореф. дис. канд. наук. Краснодар, 2006
  • Chinowsky T.M., Quinn J.G. // Sensors and Actuators. 2003. Vol. 6954. P. 1-9
  • Золотарев В.М., Морозов В.Н., Смирнова Е.В. Оптические постоянные природных и технических сред. Л.: Химия, 1984. 216 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.