"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Многослойные рентгеновские зеркала на основе La/B4C и La/B9C
Андреев С.С.1, Барышева М.М.1, Чхало Н.И.1, Гусев С.А.1, Пестов А.Е.1, Полковников В.Н.1, Рогачев Д.Н.1, Салащенко Н.Н.1, Вайнер Ю.А.1, Зуев С.Ю.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: maria@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 23 сентября 2009 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2010 г.

Изготовлены и исследованы многослойные рентгеновские зеркала на основе La/B4C и La/B9C, предназначенные для отражения излучения в спектральной области lambda=6.7 nm. Для различных периодов зеркал продемонстрированы коэффициенты отражения на уровне 40-60%. На основе модели структуры с несимметричным профилем диэлектрической проницаемости в периоде зеркала объяснен "эффект" различия значений межслоевой шероховатости, восстанавливаемой по данным измерений в жестком и мягком рентгеновском диапазонах длин волн. Разработана экспресс-методика оценки профиля диэлектрической проницаемости в периоде многослойной структуры по данным рефлектометрических измерений. Экспериментально изучено влияние антидиффузионных барьеров Sn, Cr и Mo на коэффициент отражения La/B4C многослойных структур.
  • Michaelsen C., Ricardo P. et al. // Adv. X-ray Anal. 2000. Vol. 42. P. 308
  • Michaelsen C., Wiesmann J., Bormann R. et al. // Opt. Lett. 2001. Vol. 26 (11). P. 792--794
  • Зуев С.Ю., Клюенков Е.Б., Прохоров К.А. и др. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2002. N 1. С. 32--35
  • Ricardo P., Wiesmann J., Nowak C. et al. // Appl. Opt. 2001. Vol. 40. P. 2747--2754
  • Andre J.-M., Jonnard P., Michaelsen C. et al. // X-ray Spectrometry. 2005. Vol. 34. Is. 3. P. 203--206
  • Platonov Yu., Gomez L., Broadway D. // Proc. SPIE. 2002. Vol. 4782. P. 152--159
  • Andreev S.S., Akhsakhalyan A.D., Bibishkin M.S. et al. // CEJP. 2003. Vol. 1. P. 191--209
  • Bibishkin M.S., Chekhonadskih D.P., Chkhalo N.I. et al. // Proc. SPIE. 2004. Vol. 401. P. 8--15
  • Platonov Yu.Ya., Polushkin N.I., Salashchenko N.N. et al. // Techn. Phys. 1987. Vol. 57. P. 2192
  • Зеркальная рентгеновская оптика / Под ред. А.В. Виноградова. Л.: Машиностроение, 1989. С. 75--114
  • Гусев С.А., Прохоров К.А., Садова Е.Н. // Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. 2000. N 1. С. 132--135
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.