"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
О формировании волнового микрорельефа на поверхности полупроводника, распыляемого ионным пучком
Григорьев А.И.1
1Ярославский государственный университет им. П.Г. Демидова, Ярославль, Россия
Email: grig@uniyar.ac.ru
Поступила в редакцию: 10 сентября 2009 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2010 г.

Предложена и проанализирована математическая модель формирования на облучаемой наклонно падающим пучком среднеэнергетичных ионов поверхности полупроводника упорядоченного волнового микрорельефа. Показано, что учет влияния сил флуктуационной природы (молекулярной компоненты расклинивающего давления) и электрического заряда, переносимого ионным пучком, позволяет согласовать предсказания предлагаемой теоретической модели с данными экспериментальных наблюдений.
  • Stevie F.A., Kahora P.M., Simons D.S., Chi P. // J. Vac. Sci. Technol. 1988. Vol. A4. P. 76--80
  • Elst K., Vandervorst W. // J. Vac. Sci. Technol. 1994. Vol. A12. P. 3205--3216
  • Carter G. // Surf. Interf. Annal. 1997. Vol. 25. P. 36--40
  • Smirnov V.K., Kibalov D.S et al. // Nucl. Instr. Meth. 1999. Vol. B147. P. 310--315
  • Яловец А.П. // ПМТФ. 1997. Т. 38. N 1. С. 151--166
  • Rudy A.S., Birkgan S.E., Bachurin V.I., Smirnov V.K. // Radiat. Eff. Defect. Sol. 2006. Vol. 161. N 6. P. 319--329
  • Белоножко Д.Ф., Григорьев А.И. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. Вып. 22. С. 1--6
  • Белоножко Д.Ф., Григорьев А.И. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. Вып. 3. С. 80--85
  • Белоножко Д.Ф., Григорьев А.И. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 11. С. 15--23
  • Ширяева С.О., Белоножко Д.Ф., Григорьев А.И. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. Вып. 21. С. 12--19
  • Григорьев А.И. // Письма в ЖТФ. 2000. Т. 26. Вып. 21. С. 89--94
  • Климов А.В., Григорьев А.И. // ЖТФ. 2009. Т. 79. Вып. 10. С. 14--21
  • Дерягин Б.В. Теория устойчивости коллоидов и тонких пленок. М.: Наука, 1986. 405 с
  • Френкель Я.И. Кинетическая теория жидкости. М.: Наука, 1975. 592 с
  • Лифшиц Е.М., Питаевский Л.П. Теоретическая физика. Т. 9. Статистическая физика. Ч. 2. М.: Наука, 1978. 448 с
  • Grigor'ev A.I., Munichev M.I., Shiryaeva S.O. // J. Coll. Int. Sci. 1994. N 166. P. 267--274
  • Ахманов С.А., Емельянов В.И., Коротеев Н.И., Семиногов В.В. // УФН. 1985. Т. 147. N 4. С. 675--746
  • Либенсон М.Н., Ширяев В.А. // ЖТФ. 2000. Т. 70. Вып. 3. С. 6--8
  • Мотт Н., Дэвис Э. Электронные процессы в некристаллических веществах. М.: Мир, 1974. 472 с
  • Григорьев А.И., Григорьев О.А., Ширяева С.О. // ЖТФ. 1992. Т. 62. Вып. 9. С. 12--21
  • Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Механика сплошных сред. М.: Наука, 1953. 788 с
  • Белоножко Д.Ф., Григорьев А.И., Ширяева С.О. // ЖТФ. 1998. Т. 68. Вып. 10. С. 27--31
  • Ширяева С.О., Григорьев А.И. Заряженная капля в грозовом облаке. Ярославль: Изд-во ЯрГУ им. П.Г. Демидова, 2008. 535 с
  • Френкель Я.И. // ЖЭТФ. 1936. Т. 6. N 4. С. 348--350
  • Свойства элементов. Справочник. Ч. 1. Физические свойства / Под ред Г.В. Самсонова. М.: Металлургия, 1976. 600 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.