Влияние электромагнитного облучения на фазовый состав кластеризованных пленок CNx
Самойленко З.А.1, Пушенко Е.И.1, Ивахненко Н.Н.1, Варюхин В.Н.1, Прудников А.М.1, Шалаев Р.В.1
1Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина НАН Украины, Донецк, Украина
Поступила в редакцию: 26 июня 2007 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2008 г.
Методами рентгеноструктурного анализа и спектроскопии видимого диапазона исследовано влияние электромагнитного облучения белым и ультрафиолетовым (УФ) светом на фазовый состав аморфных пленок CNx. Пленки имели разномасштабный атомный порядок в виде аморфных (30 Angstrem) кластеров графитовой фазы, кристаллических кластеров 50-100 Angstrem графитовой, алмазной и карбонитридной фаз и межкластерной среды с ближним атомным порядком 1-2 Angstrem. Показано, что облучение растущей поверхности пленок белым светом стимулирует рост мелких кластеров графитовой фазы. Облучение УФ светом подавляет развитие кластеров графитовой и карбонитридной фаз, стимулируя преимущественный рост (1.5%) алмазной фазы. Показано, что изменение мезоскопического фазового состава пленок CNx вызывает изменение ширины запрещенной зоны для видимой области спектра от Eg=0.75 eV для пленок, облученных белым светом до Eg=1.75 eV при облучении слоев УФ-светом. PACS: 81.40.Tv, 78.67.-h, 42.70.Gi
- Белошенко В.А., Варюхин В.Н., Шкуратов Б.Е. // ЖТФ. 2004. Т. 74. Вып. 7. С. 131--134
- Li D., Chung Y., Worn M.J. // Appl. Phys. 1993. Vol. 74. P. 219--223
- Sjostrom H., Stafstom S. // Phys. Rev. Lett. 1994. Vol. 49. N 7. P. 1336--1341
- Liu A., Cohen M. // Science. 1989. Vol. 245. P. 841--842
- Shalaev R.V., Varykhin V.N., Prudnikov A.M. // Functional Materials. 2004. Vol. 11. N 3. P. 617--619
- Robertson J., Reilly E.P. // Phys. Rev. 1987. Vol. 35. N 6. P. 2946--2957
- Самойленко З.А., Пушенко Е.И., Ивахненко Н.Н. и др. // ЖТФ. 2005. Т. 75. Вып. 8. С. 132--135
- Самойленко З.А., Пушенко Е.И., Ивахненко Н.Н. и др. // ЖТФ. 2007. Т. 77. Вып. 5. С. 96--102
- Кривоглаз М.А. Электронная теория гетерогенных состояний в твердых телах. Электронная структура и электронные свойства металлов и сплавов. М.: Наука, 1988. С. 3--39.
- Китайгородский Л.И. Рентгеноструктурный анализ мелкокристаллических и аморфных тел. М.: Наука, 1952. 588 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук