Вышедшие номера
Влияние лазерного облучения с hnu=1.96 eV на свойства контакта титан--кремний при термическом отжиге в азоте
Нуприенок И.С.1, Шибко А.Н.1
1Научно-производственное коммерческое предприятие "Эльтон" Минск, Белоруссия
Email: shibko@inel.bas-net.by
Поступила в редакцию: 15 марта 2002 г.
Выставление онлайн: 20 января 2003 г.

Исследовано влияние лазерного облучения с hnu=1.96 eV (lambda=0.63 mum) на контакт титан-кремний при стационарном термическом отжиге в азоте. Установлено, что происходящее при такой обработке изменение фазового состава контакта обусловливает изменение его электрофизических параметров. Использование лазерного облучения позволяет формировать выпрямляющий контакт титан-кремний с необходимыми, заранее определенными электрофизическими параметрами.