Влияние лазерного облучения с hnu=1.96 eV на свойства контакта титан--кремний при термическом отжиге в азоте
Нуприенок И.С.1, Шибко А.Н.1
1Научно-производственное коммерческое предприятие "Эльтон" Минск, Белоруссия
Email: shibko@inel.bas-net.by
Поступила в редакцию: 15 марта 2002 г.
Выставление онлайн: 20 января 2003 г.
Исследовано влияние лазерного облучения с hnu=1.96 eV (lambda=0.63 mum) на контакт титан-кремний при стационарном термическом отжиге в азоте. Установлено, что происходящее при такой обработке изменение фазового состава контакта обусловливает изменение его электрофизических параметров. Использование лазерного облучения позволяет формировать выпрямляющий контакт титан-кремний с необходимыми, заранее определенными электрофизическими параметрами.
- Алимов Д.Т., Тюгай В.К., Хабибулаев П.К. и др. // Журн. физ. химии. 1987. Т. 61. Вып. 11. С. 3065--3067
- Чапланов А.М., Шибко А.Н. // Изв. АН СССР. Сер. физическая. 1989. Т. 53. N 6. С. 1111--1114
- Ian W., Boyd I.W. // Appl. Surf. Sci. 1997. Vol. 109--110. P. 538--543
- Zhand I.Y., Boyd I.W. // Appl. Phys. Lett. 1997. Vol. 71. P. 2964--2966
- Нуприенок И.С., Шибко А.Н. // ЖТФ. 2001. Т. 71. Вып. 9. С. 45--48
- Технология тонких пленок. Справочник / Под ред. Л. Майселла, М. Глэнга. М.: Сов. радио, 1977. Т. 1. 664 с
- Родерик Э.Х. Контакты металл--полупроводник. М.: Радио и связь, 1982. 208 с
- Кипарисов С.С., Левицкий Ю.В. Азотирование тугоплавких металлов. М.: Металлургия, 1972. 160 с
- Sumi H., Inoue H., Sugano Y. // Jap. J. Appl. Phys. Pt 1. 1997. Vol. 36. P. 595--600
- Kheyrandish H., Colligan J.S., Kim J.K. // J. Vacuum Sci. Technol. A. 1994. Vol. 12. N 5. P. 2723--2727
- Андриевский Р.А., Вольдман Г.М., Леонтьев М.А. // Изв. АН СССР. Сер. неорган. материалы. 1991. Т. 27. N 4. С. 729--732
- Лютая М.Д. // Методы получения, свойства и применение нитридов. Киев, 1972. С. 6--13
- Чапланов А.М., Шибко А.Н. // Неорган. материалы. 1993. Т. 29. N 11. С. 1477--1479
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук