Неоднородные металлодиэлектрические пленки SiOx<Fe> как материал для инфракрасных тепловых приемников излучения
Михайловская Е.В.1, Индутный И.З.1, Шепелявый П.Е.1
1Институт физики полупроводников НАН Украины, Киев, Украина
Email: indutnyy@isp.kiev.ua
Поступила в редакцию: 19 марта 2002 г.
Выставление онлайн: 20 января 2003 г.
Описана вакуумная технология получения композитных металлодиэлектрических пленок SiOx<Fe> с изменяющейся по толщине концентрацией металла в диэлектрической матрице SiOx. Приведены результаты иследования отражения и пропускания таких пленок в ИК области спектра 2-12 mum и моделирования их оптических характеристик. В диапазоне температур 283-390 K исследованы термочувствительные свойства пленок SiOx<Fe> с соотношением объемов фаз Fe (23%) и SiO (77%). Определено значение температурного коэффициента сопротивления (ТКС) для пленок такого состава. Показана возможность использования исследованных пленок в качестве чувствительного слоя микроболометра.
- Хребтов И.А., Маляров В.Г. // Оптический журнал. 1997. Т. 64. N 6. С. 3--17
- Зеров В.Ю., Куликов Ю.В., Леонов В.Н. и др. // Оптический журнал. 1999. Т. 66. N 5. С. 8--12
- Changhong Chen, Xinjian Yi, Jing Zhang, Xingrong Zhao // Infrared Physics and Technology. 2001. Vol. 42. P. 87--90
- Liddiard K.C. // Infrared Phys. 1986. Vol. 26. N 1. P. 3--49
- Liddiard K.C., Unewisse M.H., Reinhold O. // Proc. SPIE. 1994. Vol. 2225. P. 62--71
- Shepeliavyi P.E., Michailovskaya K.V., Indutnyi I.Z. // Intern. Conf. "Advanced materials". Kiev, 1999. P. 52
- Шепелявый П.Е., Михайловская Е.В., Индутный И.З. и др. // Оптическая техника. 1995. N 2 (6). С. 16--17
- Братусь И.Я., Юхимчук В.А., Бережинский Л.И. и др. // ФТП. 2001. Т. 35. Вып. 7. С. 854--860
- Индутный И.З., Шепелявый П.Е., Михайловская Е.В. и др. // ЖТФ. 2002. Т. 72. Вып. 6. С. 67--72
- Nakamura M., Mochizuki Y., Usami K. et al. // Sol. St. Commun. 1984. Vol. 50. N 12. P. 1079--1081
- Bruggerman D.A.G. // P. I. Ann. Phys. (Leipzig). 1935. Vol. B 24. N 7. P. 636--664
- Landauer R.// Journ. Appl. Phys. 1952. Vol. 23. N 7. P. 779--784
- Handbook of optical constants of Solid / ed E.D. Palik., London: Acad. Press. INC, 1985. P. 805
- Johnson P.B., Christy R.W. Phys. Rev. B. 1974. Vol. 9. N 12. P. 5056--5076
- Борн М., Вольф Э. Основы оптики. М.: Наука, 1970. 856 с
- Якобсон Р. // Физика тонких пленок. М.: Мир, 1978. Т. 8. С. 61--105
- Morris J.E. // Thin Solid Films. 1972. Vol. 11. P. 299--311
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук