Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2024, выпуск 7 » Статья стр. 1128
<<<>>>
Высокочастотные дифракционные Mo/Be-решетки с малым углом блеска--исследование эффективности
Министерство образования и науки Российской Федерации, Молодежная лаборатория, 075-01438-22-06
Российский научный фонд, 23-29-00216
Горай Л.И. 1,2,3,4, Дашков А.С. 1,2, Костромин Н.А.1,2, Мохов Д.В.2, Березовская Т.Н.2, Шубина К.Ю.2, Пирогов Е.В.2, Шаров В.А.5, Гарахин С.А.6, Зорина М.В.6, Плешков Р.С.6, Чхало Н.И.6, Буравлев А.Д.1,3,4,5
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
4Университет при Межпарламентской Ассамблее ЕврАзЭС, Санкт-Петербург, Россия
5Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
6Институт физики микроструктур РАН, Афонино, Кстовский р-он, Нижегородская обл., Россия
Email: lig@pcgrate.com, daskov.alexander.om@gmail.com, nik.kostromin.00@inbox.ru
Поступила в редакцию: 17 апреля 2024 г.
В окончательной редакции: 17 апреля 2024 г.
Принята к печати: 17 апреля 2024 г.
Выставление онлайн: 1 июля 2024 г.
PDF версия
Представлены результаты исследований дифракционной эффективности решеток с блеском, выполненные путем моделирования в компьютерной программе PCGrateTM с использованием полученных с помощью атомно-силовой микроскопии профилей штрихов и измерений на лабораторном рефлектометре с высокоразрешающим спектрометром Черни-Тёрнера. Высокочастотные дифракционные решетки с плотностью 2500 mm-1 и малым углом наклона отражающей грани были изготовлены на пластинах Si(111)1.8o с использованием электронно-лучевой литографии и анизотропного жидкостного травления. Решетка с углом блеска ~ 1.7o, покрытая 40 бислоями Mo/Be, продемонстрировала в классической схеме абсолютную дифракционную эффективность минус второго порядка ~ 38% при угле падения 3o неполяризованного излучения с длиной волны 11.3 nm. С учетом измеренного коэффициента отражения многослойного покрытия ~ 0.6 максимальная относительная (решеточная) эффективность составила ~ 63%. Ключевые слова: дифракционная Si-решетка с блеском, треугольный профиль штриха, малый угол блеска, многослойное Mo/Be-покрытие, моделирование дифракционной эффективности, граничные интегральные уравнения, случайная шероховатость, атомно-силовая микроскопия, метод Монте-Карло, экстремальный ультрафиолет.
  1. L. Goray, W. Jark, D. Eichert. J. Synchrotron Rad, 25 (6), 1683 (2018). DOI: 10.1107/S1600577518012419
  2. D.L. Voronov, L.I. Goray, T. Warwick, V.V. Yashchuk, H.A. Padmore. Opt. Express, 23 (4), 4771 (2015). DOI: 10.1364/OE.23.004771
  3. D.L. Voronov, E.M. Gullikson, F. Salmassi, T. Warwick, H.A. Padmore. Opt. Lett., 39 (11), 3157 (2014). DOI: 10.1364/OL.39.003157
  4. D.L. Voronov, F. Salmassi, J. Meyer-Ilse, E.M. Gullikson, T. Warwick, H.A. Padmore. Opt. Express, 24 (11), 11334 (2016). DOI: 10.1364/OE.24.011334
  5. A. Sokolov, Q. Huang, F. Senf, J. Feng, S. Lemke, S. Alimov, J. Knedel, T. Zeschke, O. Kutz, T. Seliger, G. Gwalt, F. Schafers, F. Siewert, I. Kozhevnikov, R. Qi, Z. Zhang, W. Li, Z. Wang. Opt. Express, 27 (12), 16833 (2019). DOI: 10.1364/OE.27.016833
  6. N.I. Chkhalo, N.N. Salashchenko. AIP Advances, 3 (8), 082130 (2013). DOI: 10.1063/1.4820354
  7. M.V. Svechnikov, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.N. Nechay, D.E. Pariev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, D.A. Tatarskiy, N.N. Salashchenko, F. Schafers, M.G. Sertsu, A. Sokolov, Y.A. Vainer, M.V. Zorina. Opt. Express, 26 (26), 33718 (2018). DOI: 10.1364/OE.26.033718
  8. N.I. Chkhalo, S.A. Garakhin, A.Ya. Lopatin, A.N. Nechay, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, N.N. Tsybin, S.Yu. Zuev. AIP Advances, 8 (10), 105003 (2018). DOI: 10.1063/1.5048288
  9. V.N. Polkovnikov, N.I. Chkhalo, R.S. Pleshkov, N.N. Salashchenko, F. Schafers, M.G. Sertsu, A. Sokolov, M.V. Svechnikov, S.Yu. Zuev. Opt. Lett., 44 (2), 263 (2019). DOI: 10.1364/OL.44.000263
  10. Л.И. Горай, Т.Н. Березовская, Д.В. Мохов, К.Ю. Шубина, Е.В. Пирогов, В.А. Шаров, А.C. Дашков, Н.А. Костромин, М.В. Зорина, М.М. Барышева, С.А. Гарахин, С.Ю. Зуев, К.В. Николаев, С.Н. Якунин, Б.С. Рощин, Н.И. Чхало, В.Е. Асадчиков, А.Д. Буравлев. Сборник тез. конф. Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике" КЭЛТ-23 (Черноголовка, Россия, 2023), с. 219
  11. Д.В. Мохов, Т.Н. Березовская, К.Ю. Шубина, Е.В. Пирогов, А.В. Нащекин, В.А. Шаров, Л.И. Горай. ЖТФ, 92 (8), 1192 (2022). DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52782.74-22 [D.V. Mokhov, T.N. Berezovskaya, K.Yu. Shubina, E.V. Pirogov, A.V. Nashchekin, V.A. Sharov, L.I. Goray. Tech. Phys., 92 (8), 1009 (2022). DOI: 10.21883/TP.2022.08.54564.74-22]
  12. Электронный ресурс. Режим доступа: https://henke.lbl.gov/optical_constants/
  13. Д.В. Мохов, Т.Н. Березовская, Е.В. Пирогов, К.Ю. Шубина, Н.Д. Прасолов, М.В. Зорина, С.А. Гарахин, Р.С. Плешков, Н.И. Чхало, А.C. Дашков, Н.А. Костромин, Л.И. Горай, А.Д. Буравлев. ЖТФ, 94 (7), (2024)
  14. Ф.М. Герасимов, Э.А. Яковлев. Современные тенденции в технике спектроскопии сб. статей, ред. С.Г. Раутиан (Новосибирск, Наука, 1982), с. 24-93. [F.M. Gerasimov, E.A. Yakovlev. Current Trends in Spectroscopy Technology, ed. by S.G. Rautian (Nauka, Novosibirsk, 1982, in Russian)]
  15. E.G. Loewen, Е. Popov. Diffraction Gratings and Applications (CRC Press, 2018), 630 p
  16. Л.И. Горай. Известия РАН. Сер. физическая, 69 (2), 211 (2005). [L.I. Gorai. Bull. Russian Academy Sciences. Physics, 69 (2), 231 (2005).]
  17. L. Goray. J. Synchrotron Rad., 28 (1), 196 (2021). DOI: 10.1107/S160057752001440X
  18. L.I. Goray, G. Schmidt. Gratings: Theory and Numerical Applications (Presses Universitaires de Provence, Marcel, 2014), Сh. 12
  19. Л.И. Горай, С.Ю. Садов. Компьютерная программа PCGrateTM. URL: www.pcgrate.com
  20. D.P. Kroese, T. Taimre, Z.I. Botev. Handbook of Monte Carlo Methods (Wiley, 2011), 772 p
  21. H. Marlowe, R.L. McEntaffer, C.T. Deroo, D.M. Miles, J.H. Tutt, L.I. Goray, F. Scholze, A.F. Herrero, C. Laubis, V. Soltwisch. Appl. Opt., 55 (21), 5548 (2016)
  22. L.I. Goray, A.S. Dashkov, N.A. Kostromin, D.A. Barykin, 2023 Days on Diffraction (DD), Proc. IEEE, 101 (2023). DOI: 10.1109/DD58728.2023.10325796
  23. Л.И. Горай, В.А. Шаров, Д.В. Мохов, Т.Н. Березовская, К.Ю. Шубина, Е.В. Пирогов, А.C. Дашков, А.Д. Буравлев. ЖТФ, 93 (7), 859 (2023). DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55738.66-23 [L.I. Goray, V.A. Sharov, D.V. Mokhov, T.N. Berezovskaya, K.Yu. Shubina, E.V. Pirogov, A.S. Dashkov, A.D. Bouravleuv. Tech. Phys., 68 (7), 797 (2023). DOI: 10.61011/TP.2023.07.56619.66-23]
  24. S.A. Garakhin, N.I. Chkhalo, I.A. Kas'kov, A.Ya. Lopatin, I.V. Malyshev, A.N. Nechay, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, N.N. Tsybin, I.G. Zabrodin, S.Yu. Zuev. Rev. Sci. Instrum., 91 (6), 063103 (2020). DOI: 10.1063/1.5144489
  25. Л.И. Горай, Т.Н. Березовская, Д.В. Мохов, В.А. Шаров, К.Ю. Шубина, Е.В. Пирогов, А.С. Дашков, А.В. Нащекин, М.В. Зорина, М.М. Барышева, С.А. Гарахин, С.Ю. Зуев, Н.И. Чхало. Квантовая электроника, 52 (10), 955 (2022). https://www.mathnet.ru/rus/qe18114 [L.I. Goray, T.N. Berezovskaya, D.V. Mokhov, V.A. Sharov, K.Yu. Shubina, E.V. Pirogov, A.S. Dashkov, A.V. Nashchekin, M.V. Zorina, M.M. Barysheva, S.A. Garakhin, S.Yu. Zuev, N.I. Chkhalo. Bull. Lebedev Phys. Inst., 50 (2), S250 (2023). DOI: 10.3103/S1068335623140063]
  26. L.I. Goray, T.N. Berezovskaya, D.V. Mokhov, V.A. Sharov, K.Yu. Shubina, E.V. Pirogov, A.S. Dashkov. J. Surf. Invest., 17 (1), S104 (2023). DOI: 10.1134/S1027451023070145

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme