Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2024, выпуск 7 » Статья стр. 1119
<<<>>>
Высокочастотные многослойные дифракционные Si-решетки с малым углом блеска --- изготовление
Министерство науки и Высшего образования РФ, Научные исследования, включаемые в планы научных работ научных организаций и образовательных организаций высшего образования, осуществляющих научные исследования за счет средств федерального бюджета, FSRM-2023-0006
РНФ, Проведение фундаментальнылх научных исследований и поисковых научных исседований малыми отдельными научными группами, 23-29-00216
Мохов Д.В. 1, Березовская Т.Н.1, Пирогов Е.В.1, Шубина К.Ю.1, Прасолов Н.Д.2, Зорина М.В.3, Гарахин С.А.3, Плешков Р.С.3, Чхало Н.И.3, Дашков А.C.1,4, Костромин H.А.1,4, Горай Л.И.1,4,5,6, Буравлев А.Д.2,4,5,6
1Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Институт физики микроструктур РАН, Афонино, Кстовский р-он, Нижегородская обл., Россия
4Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
5Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
6Университет при Межпарламентской Ассамблее ЕврАзЭС, Санкт-Петербург, Россия
Email: dm_mokhov@rambler.ru, bertana@spbau.ru, zzzavr@gmail.com, rein.raus.2010@gmail.com, lig@pcgrate.com
Поступила в редакцию: 17 апреля 2024 г.
В окончательной редакции: 17 апреля 2024 г.
Принята к печати: 17 апреля 2024 г.
Выставление онлайн: 1 июля 2024 г.
PDF версия
Высокочастотные рентгеновские дифракционные решетки с плотностью штрихов 2500 mm-1 и малым углом блеска были изготовлены на пластинах Si(111)1.8o с использованием электронно-лучевой литографии и жидкостного анизотропного травления. Многослойное Mo/Be-покрытие, состоящее из 40 бислоев для длины волны 11.3 nm, было нанесено методом магнетронного напыления. Профиль штрихов в процессе изготовления решеток контролировался с помощью атомно-силовой и растровой электронной микроскопии. Полученные с помощью атомно-силовой микроскопии усредненный профиль одного штриха, неусредненные случайные профили длиной несколько периодов и значения высокочастотной и среднечастотной шероховатости лучших дифракционных решеток будут использованы для последующего моделирования дифракционной эффективности в компьютерной программе PCGrateTM. Ключевые слова: дифракционная Si-решетка с блеском, малый угол блеска, многослойное Mo/Be-покрытие, электронно-лучевая литография, жидкостное анизотропное травление, магнетронное напыление, шероховатость отражающей грани, атомно-силовая микроскопия, растровая электронная микроскопия, экстремальный ультрафиолет.
  1. L.J.P. Ament, M. van Veenendaal, T. Devereaux, J.P. Hill, J. van den Brink. Rev. Mod. Phys., 83, 705 (2011). DOI: 10.1103/RevModPhys.83.705
  2. L. Goray, W. Jark, D. Eichert. J. Synchrotron Radiation, 25 (6), 1683 (2018). DOI: 10.1107/S1600577518012419
  3. D.L. Voronov, P. Lum, P. Naulleau, E.M. Gullikson, A.V. Fedorov, H.A. Padmore. Appl. Phys. Lett., 109, 043112 (2016). DOI: 10.1063/1.4960203
  4. M.P. Kowalski, R.G. Cruddace, K.F. Heidemann, R. Lenke, H. Kierey, T.W. Barbee, W.R. Hunter. Opt. Lett., 29 (24), 2914 (2004)
  5. H. Lin, L. Zhang, L. Li, Ch. Jin, H. Zhou, T. Huo. Opt. Lett., 33 (5), 485 (2008). DOI: 10.1364/ol.33.000485
  6. F. Salmassi, P.P. Naulleau, E.M. Gullikson, D.L. Olynick, J.A. Liddle. J. Vacuum Sci. Technol. A Vacuum Surfaces and Films, 24 (4), 1136 (2006). DOI: 10.1116/1.2212435
  7. D.L. Voronov, E.H. Anderson, R. Cambie, F. Salmassi, E.M. Gullikson, V.V. Yashchuk, H.A. Padmore, M. Ahn, C.-H. Chang, R.K. Heilmann, M.L. Schattenburg. Proc. SPIE, 7448, 74480J (2009). DOI: 10.1117/12.826921
  8. Л.И. Горай, Т.Н. Березовская, Д.В. Мохов, В.А. Шаров, К.Ю. Шубина, Е.В. Пирогов, А.С. Дашков, А.В. Нащекин, М.В. Зорина, М.М. Барышева, С.А. Гарахин, С.Ю. Зуев, Н.И. Чхало. Квантовая электроника, 52 (10), 955 (2022). [L.I. Goray, T.N. Berezovskaya, D.V. Mokhov, V.A. Sharov, K.Yu. Shubina, E.V. Pirogov, A.S. Dashkov, A.V. Nashchekin, M.V. Zorina, M.M. Barysheva, S.A. Garakhin, S.Yu. Zuev, N.I. Chkhalo. Bull. Lebedev Phys. Institute, 50 (2), S250 (2023). DOI: 10.3103/S1068335623140063]
  9. D.L. Voronov, R. Cambie, E.M. Gullikson, V.V. Yashchuk, H.A. Padmore, Yu.P. Pershin, A.G. Ponomarenko, V.V. Kondratenko. Proc. SPIE, 7077, 707708-1 (2008). DOI: 10.1117/12.795377
  10. D.L. Voronov, T. Warwick, H.A. Padmore. Opt. Lett., 39 (21), 6134 (2014). DOI: 10.1364/OL.39.006134
  11. A.H.K. Mahmoud, S. de Rossi, E. Meltchakov, B. Capitanio, M. Thomasset, M. Vallet, E. Heripre, F. Delmotte. Opt. Express, 30 (21), 38319 (2022). DOI: 10.1364/OE.468568
  12. A. Sokolov, Q. Huang, F. Senf, J. Feng, S. Lemke, S. Alimov, J. Knedel, T. Zeschke, O. Kutz, T. Seliger, G. Gwalt, F. Schafers, F. Siewert, I.V. KozhevnikoV, R. Qi, Z. Zhang, W. Li, Z. Wang. Opt. Express, 27 (12), 16833 (2019). DOI: 10.1364/OE.27.016833
  13. D.L. Voronov, M. Ahn, E.H. Anderson, R. Cambie, Ch.-H. Chang, L.I. Goray, E.M. Gullikson, R.K. Heilmann, F. Salmassi, M.L. Schattenburg, T. Warwick, V.V. Yashchuk, H.A. Padmore. Proc. SPIE, 7802, 780207 (2010). DOI: 10.1117/12.861287
  14. S. Park, D.L. Voronov, E.M. Gullikson, F. Salmassi,  H.A. Padmore. Proc. SPIE, 11837, 118370I (2021).  DOI: 10.1117/12.2596269
  15. D.L. Voronov, S. Park, E.M. Gullikson, F. Salmassi, H.A. Padmore. Opt. Express, 31 (16), 26724 (2023). DOI: 10.1364/OE.495374
  16. L.I. Goray, T.N. Berezovskaya, D.V. Mokhov, V.A. Sharov, K.Yu. Shubina, E.V. Pirogov, A.S. Dashkov. J. Surf. Investigation: X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques, 17 (1), S104 (2023). DOI: 10.1134/S1027451023070145
  17. Л.И. Горай, В.А. Шаров, Д.В. Мохов, Т.Н. Березовская, К.Ю. Шубина, Е.В. Пирогов, А.C. Дашков, А.Д. Буравлев. ЖТФ, 93 (7), 859 (2023). DOI: 10.21883/JTF.2023.07.55738.66-23 [L.I. Goray, V.A. Sharov, D.V. Mokhov, T.N. Berezovskaya, K.Yu. Shubina, E.V. Pirogov, A.S. Dashkov, A.D. Bouravleuv. Tech. Phys., 68 (7), 797 (2023). DOI: 10.61011/TP.2023.07.56619.66-23]
  18. Л.И. Горай, Т.Н. Березовская, Д.В. Мохов, В.А. Шаров, К.Ю. Шубина, Е.В. Пирогов, А.С. Дашков. ЖТФ, 91 (10), 1538 (2021). DOI: 10.21883/0000000000 [L.I. Goray, T.N. Berezovskaya, D.V. Mokhov, V.A. Sharov, K.Yu. Shubina, E.V. Pirogov, A.S. Dashkov. Tech. Phys., 91 (10), 1531 (2021). DOI: 10.21883/0000000000]
  19. D.L. Voronov, E.H. Anderson, R. Cambie, F. Salmassi, E.M. Gullikson, V.V. Yashchuk, H.A. Padmore, M. Ahn, C.-H. Chang, R.K. Heilmann, M.L. Schattenburg. Proc. SPIE, 7448, 74480J (2009). DOI: 10.1117/12.826921
  20. Д.В. Мохов, Т.Н. Березовская, К.Ю. Шубина, Е.В. Пирогов, А.В. Нащекин, В.А. Шаров, Л.И. Горай. ЖТФ, 92 (8), 1192 (2022). DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52782.74-22 [D.V. Mokhov, T.N. Berezovskaya, K.Yu. Shubina, E.V. Pirogov, A.V. Nashchekin, V.A. Sharov, L.I. Goray. Tech. Phys., 92 (8), 1009 (2022). DOI: 10.21883/0000000000]
  21. S.A. Garakhin, N.I. Chkhalo, I.A. Kas'kov, A.Ya. Lopatin, I.V. Malyshev, A.N. Nechay, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, M.V. Svechnikov, N.N. Tsybin, I.G. Zabrodin, S.Yu. Zuev. Rev. Sci. Instrum., 91 (6), 063103 (2020)
  22. Электронный ресурс. Режим доступа: www.pcgrate.com
  23. Л.И. Горай, А.C. Дашков, Н.А. Костромин, Д.В. Мохов, Т.Н. Березовская, К.Ю. Шубина, Е.В. Пирогов, В.А. Шаров, Н.Д. Прасолов, С.А. Гарахин, М.В. Зорина, Р.С. Плешков, Н.И. Чхало, А.Д. Буравлев. ЖТФ, 94 (7), (2024)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme