Вышедшие номера
Исследование емкостных и индуктивных элементов с помощью высокодобротных сверхпроводниковых резонаторов
Российский научный фонд, Конкурс 2023 года «Проведение исследований научными группами под руководством молодых ученых» Президентской программы исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными, 23-79-10262
Министерства науки и высшего образования Российской Федерации, Конкурс крупных научных проектов по приоритетным направлениям научно-технологического развития, 075-15-2024-538
Юсупов Р.А. 1, Филиппенко Л.В. 1, Фоминский М.Ю. 1, Кошелец В.П. 1
1Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия
Email: yusupovrenat@hitech.cplire.ru, lyudmila@hitech.cplire.ru, ffke@yandex.ru
Поступила в редакцию: 16 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 16 мая 2024 г.
Принята к печати: 16 мая 2024 г.
Выставление онлайн: 1 июля 2024 г.

Предложен и реализован метод измерения электрических параметров элементов интегральных схем с помощью высокодобротных сверхпроводниковых резонаторов. Изготовлены структуры, состоящие из копланарной волноводной линии с подключенными к ней емкостным способом резонаторами. Измерены спектры прохождения сверхвысокочастотного сигнала по такой линии. Проведено сравнение численного расчета тестовых структур со спектрами прохождения, измеренными в эксперименте. Определены значения емкостей связи линии передачи с резонаторами и значения нагрузок резонаторов, представляющих собой емкостные и индуктивные элементы. Проведен анализ полученных значений, получена оценка достоверности используемой методики. Ключевые слова: сверхпроводниковые интегральные схемы, копланарная волноводная линия, сверхпроводниковый копланарный резонатор, сверхпроводящий квантовый интерферометр, сверхвысокочастотные измерения, спектр прохождения сигнала, векторный анализатор цепей, криогенные измерения.
  1. G. Wendin, Rep. Progr. Phys., 80 (10), 106001 (2017). DOI: 10.1088/1361-6633/aa7e1a
  2. R. Kleiner, D. Koelle, F. Ludwig, J. Clarke. Proceed. IEEE, 92 (10), 1534 (2004). DOI: 10.1109/JPROC.2004.833655
  3. M.T. Bell., А. Samolov. Phys. Rev. Appl., 4 (2), 024014 (2015). DOI: 10.1103/PhysRevApplied.4.024014
  4. C. Macklin, K. O'brien, D. Hover, M.E. Schwartz, V. Bolkhovsky, X. Zhang, W.D. Oliver, I. Siddiqi. Science, 350 (6258), 307 (2015). DOI: 10.1126/science.aaa8525
  5. A.B. Zorin. Phys. Rev. Appl., 6 (3), 034006 (2016). DOI: 10.1103/PhysRevApplied.6.034006
  6. A.B. Zorin. Phys. Rev. Appl., 12 (4), 044051 (2019). DOI: 10.1103/PhysRevApplied.12.044051
  7. C. Bartram, T. Braine, R. Cervantes, N. Crisosto, N. Du, G. Leum, P. Mohapatra, T. Nitta, L.J. Rosenberg, G. Rybka, J. Yang, J. Clarke, I. Siddiqi, A. Agrawal, A.V. Dixit, M.H. Awida, A.S. Chou, M. Hollister, S. Knirck, A. Sonnenschein, W. Wester, J.R. Gleason, A.T. Hipp, S. Jois, P. Sikivie, N.S. Sullivan, D.B. Tanner, E. Lentz, R. Khatiwada, G. Carosi, C. Cisneros, N. Robertson, N. Woollett, D. Duffy, C. Boutan, M. Jones, B.H. LaRoque, N.S. Oblath, M.S. Taubman, E.J. Daw, M.G. Perry, J.H. Buckley, C. Gaikwad, J. Hoffman, K. Murch, M. Goryachev, B.T. McAllister, A. Quiskamp, C. Thomson, M.E. Tobar, V. Bolkhovsky, G. Calusine, W. Oliver, K. Serniak. Rev. Sci. Instrum., 94 (4), 044703 (2023) DOI: 10.1063/5.0122907
  8. Р.А. Юсупов, Л.В. Филиппенко, М.Ю. Фоминский, В.П. Кошелец. ФТТ, 64 (9), 1189 (2022). DOI: 10.21883/FTT.2022.09.52804.13HH [R.A. Yusupov, L.V. Filippenko, M.Y. Fominskiy, V.P. Koshelets. Phys. Solid State, 64 (8), 467 (2022). DOI: 10.1134/S1063783422090086]
  9. A. Blais, R.S. Huang, A. Wallraff, S.M. Girvin, R.J. Schoelkopf. Phys. Rev. A, 69 (6), 062320 (2004). DOI: 10.1103/PhysRevA.69.062320
  10. P.K. Day, H.G. LeDuc, B.A. Mazin, A. Vayonakis, J. Zmuidzinas. Nature, 425, 817 (2003). DOI: 10.1038/nature02037
  11. R. Barends, H.L. Hortensius, T. Zijlstra, J.J.A. Baselmans, S.J.C. Yates, J.R. Gao, T.M. Klapwijk. Appl. Phys. Lett., 92, 223502 (2008). DOI: 10.1063/1.2937837
  12. W. Rauch, E. Gornik, G. Solkner, A.A. Valenzuela, F. Fox, H. Behner. J. Appl. Phys., 73, 1866 (1993). DOI: 10.1063/1.353173
  13. M. Goppl, A. Fragner, M. Baur, R. Bianchetti, S. Filipp, J.M. Fink, P.J. Leek, G. Puebla, L. Steffen, A. Wallraff. J. Appl. Phys., 104, 113904 (2008). DOI: 10.1063/1.3010859
  14. D. Bothner, M. Knufinke, H. Hattermann, R. Wolbing, B. Ferdinand, P. Weiss, S. Bernon, J. Fortagh, D. Koelle, R. Kleiner. New J. Phys., 15, 093024 (2013). DOI: 10.1088/1367-2630/15/9/093024
  15. H. Kroger, L.N. Smith, D.W. Jillie. Appl. Phys. Lett., 39 (3), 280 (1981). DOI: 10.1063/1.92672
  16. V. Ambegaokar, A. Baratoff. Phys. Rev. Lett., 10 (11), 486 (1963). DOI: 10.1103/PhysRevLett.10.486
  17. R.A. Yusupov, L.V. Filippenko, D.E. Bazulin, N.V. Kolotinskiy, M.A. Tarasov, E. Goldobin. IEEE Transactions Appl. Superconduct., 32 (4), 1700105 (2022). DOI: 10.1109/TASC.2021.3131134
  18. R.A. Yusupov, L.V. Filippenko, V.P. Koshelets. Conf. Proceed. 2023 Radiation and Scattering of Electromagnetic Waves (RSEMW), 124 (2023). DOI: 10.1109/RSEMW58451.2023.10202097
  19. S. Butz, P. Jung, L.V. Filippenko, V.P. Koshelets, A.V. Ustinov, Supercond. Sci. Technol., 26, 094003 (2013). DOI: 10.1088/0953-2048/26/9/094003
  20. J. Zotova, R. Wang, A. Semenov, Y. Zhou, I. Khrapach, A. Tomonaga, O. Astafiev, J.S. Tsai. Phys. Rev. Appl., 19 (4), 044067 (2023). DOI: 10.1103/PhysRevApplied.19.044067

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.