Исследование емкостных и индуктивных элементов с помощью высокодобротных сверхпроводниковых резонаторов
Российский научный фонд, Конкурс 2023 года «Проведение исследований научными группами под руководством молодых ученых» Президентской программы исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными, 23-79-10262
Министерства науки и высшего образования Российской Федерации, Конкурс крупных научных проектов по приоритетным направлениям научно-технологического развития, 075-15-2024-538
Юсупов Р.А.
1, Филиппенко Л.В.
1, Фоминский М.Ю.
1, Кошелец В.П.
11Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Москва, Россия
Email: yusupovrenat@hitech.cplire.ru, lyudmila@hitech.cplire.ru, ffke@yandex.ru
Поступила в редакцию: 16 мая 2024 г.
В окончательной редакции: 16 мая 2024 г.
Принята к печати: 16 мая 2024 г.
Выставление онлайн: 1 июля 2024 г.
Предложен и реализован метод измерения электрических параметров элементов интегральных схем с помощью высокодобротных сверхпроводниковых резонаторов. Изготовлены структуры, состоящие из копланарной волноводной линии с подключенными к ней емкостным способом резонаторами. Измерены спектры прохождения сверхвысокочастотного сигнала по такой линии. Проведено сравнение численного расчета тестовых структур со спектрами прохождения, измеренными в эксперименте. Определены значения емкостей связи линии передачи с резонаторами и значения нагрузок резонаторов, представляющих собой емкостные и индуктивные элементы. Проведен анализ полученных значений, получена оценка достоверности используемой методики. Ключевые слова: сверхпроводниковые интегральные схемы, копланарная волноводная линия, сверхпроводниковый копланарный резонатор, сверхпроводящий квантовый интерферометр, сверхвысокочастотные измерения, спектр прохождения сигнала, векторный анализатор цепей, криогенные измерения.
- G. Wendin, Rep. Progr. Phys., 80 (10), 106001 (2017). DOI: 10.1088/1361-6633/aa7e1a
- R. Kleiner, D. Koelle, F. Ludwig, J. Clarke. Proceed. IEEE, 92 (10), 1534 (2004). DOI: 10.1109/JPROC.2004.833655
- M.T. Bell., А. Samolov. Phys. Rev. Appl., 4 (2), 024014 (2015). DOI: 10.1103/PhysRevApplied.4.024014
- C. Macklin, K. O'brien, D. Hover, M.E. Schwartz, V. Bolkhovsky, X. Zhang, W.D. Oliver, I. Siddiqi. Science, 350 (6258), 307 (2015). DOI: 10.1126/science.aaa8525
- A.B. Zorin. Phys. Rev. Appl., 6 (3), 034006 (2016). DOI: 10.1103/PhysRevApplied.6.034006
- A.B. Zorin. Phys. Rev. Appl., 12 (4), 044051 (2019). DOI: 10.1103/PhysRevApplied.12.044051
- C. Bartram, T. Braine, R. Cervantes, N. Crisosto, N. Du, G. Leum, P. Mohapatra, T. Nitta, L.J. Rosenberg, G. Rybka, J. Yang, J. Clarke, I. Siddiqi, A. Agrawal, A.V. Dixit, M.H. Awida, A.S. Chou, M. Hollister, S. Knirck, A. Sonnenschein, W. Wester, J.R. Gleason, A.T. Hipp, S. Jois, P. Sikivie, N.S. Sullivan, D.B. Tanner, E. Lentz, R. Khatiwada, G. Carosi, C. Cisneros, N. Robertson, N. Woollett, D. Duffy, C. Boutan, M. Jones, B.H. LaRoque, N.S. Oblath, M.S. Taubman, E.J. Daw, M.G. Perry, J.H. Buckley, C. Gaikwad, J. Hoffman, K. Murch, M. Goryachev, B.T. McAllister, A. Quiskamp, C. Thomson, M.E. Tobar, V. Bolkhovsky, G. Calusine, W. Oliver, K. Serniak. Rev. Sci. Instrum., 94 (4), 044703 (2023) DOI: 10.1063/5.0122907
- Р.А. Юсупов, Л.В. Филиппенко, М.Ю. Фоминский, В.П. Кошелец. ФТТ, 64 (9), 1189 (2022). DOI: 10.21883/FTT.2022.09.52804.13HH [R.A. Yusupov, L.V. Filippenko, M.Y. Fominskiy, V.P. Koshelets. Phys. Solid State, 64 (8), 467 (2022). DOI: 10.1134/S1063783422090086]
- A. Blais, R.S. Huang, A. Wallraff, S.M. Girvin, R.J. Schoelkopf. Phys. Rev. A, 69 (6), 062320 (2004). DOI: 10.1103/PhysRevA.69.062320
- P.K. Day, H.G. LeDuc, B.A. Mazin, A. Vayonakis, J. Zmuidzinas. Nature, 425, 817 (2003). DOI: 10.1038/nature02037
- R. Barends, H.L. Hortensius, T. Zijlstra, J.J.A. Baselmans, S.J.C. Yates, J.R. Gao, T.M. Klapwijk. Appl. Phys. Lett., 92, 223502 (2008). DOI: 10.1063/1.2937837
- W. Rauch, E. Gornik, G. Solkner, A.A. Valenzuela, F. Fox, H. Behner. J. Appl. Phys., 73, 1866 (1993). DOI: 10.1063/1.353173
- M. Goppl, A. Fragner, M. Baur, R. Bianchetti, S. Filipp, J.M. Fink, P.J. Leek, G. Puebla, L. Steffen, A. Wallraff. J. Appl. Phys., 104, 113904 (2008). DOI: 10.1063/1.3010859
- D. Bothner, M. Knufinke, H. Hattermann, R. Wolbing, B. Ferdinand, P. Weiss, S. Bernon, J. Fortagh, D. Koelle, R. Kleiner. New J. Phys., 15, 093024 (2013). DOI: 10.1088/1367-2630/15/9/093024
- H. Kroger, L.N. Smith, D.W. Jillie. Appl. Phys. Lett., 39 (3), 280 (1981). DOI: 10.1063/1.92672
- V. Ambegaokar, A. Baratoff. Phys. Rev. Lett., 10 (11), 486 (1963). DOI: 10.1103/PhysRevLett.10.486
- R.A. Yusupov, L.V. Filippenko, D.E. Bazulin, N.V. Kolotinskiy, M.A. Tarasov, E. Goldobin. IEEE Transactions Appl. Superconduct., 32 (4), 1700105 (2022). DOI: 10.1109/TASC.2021.3131134
- R.A. Yusupov, L.V. Filippenko, V.P. Koshelets. Conf. Proceed. 2023 Radiation and Scattering of Electromagnetic Waves (RSEMW), 124 (2023). DOI: 10.1109/RSEMW58451.2023.10202097
- S. Butz, P. Jung, L.V. Filippenko, V.P. Koshelets, A.V. Ustinov, Supercond. Sci. Technol., 26, 094003 (2013). DOI: 10.1088/0953-2048/26/9/094003
- J. Zotova, R. Wang, A. Semenov, Y. Zhou, I. Khrapach, A. Tomonaga, O. Astafiev, J.S. Tsai. Phys. Rev. Appl., 19 (4), 044067 (2023). DOI: 10.1103/PhysRevApplied.19.044067
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.