Комментарий к статье А.И. Толмачева и Л. Форлано Зависимость коэффициента распыления от угла падения ионов на поверхность мишени" (2022, Т. 92. Вып. 5, С. 660-664)
Шульга В.И.1
1Skobeltsyn Institute of Nuclear Physics, Lomonosov Moscow State University, Moscow, Russia
Email: vish008@yandex.ru
Поступила в редакцию: 10 июня 2023 г.
В окончательной редакции: 10 июня 2023 г.
Принята к печати: 14 августа 2023 г.
Выставление онлайн: 26 сентября 2023 г.
Представлен критический анализ подхода, примененного А.И. Толмачевым и Л. Форлано в работе, опубликованной в ЖТФ, 92 (5), 660 (2022), к решению задачи о ионном распылении твердых тел. Ключевые слова: распыление, угловая зависимость коэффициента распыления, компьютерное моделирование, программа PAOLA, программа SRIM, транспортное уравнение, парные столкновения.
- А.И. Толмачев, Л. Форлано. ЖТФ, 92 (5), 660 (2022). DOI: 10.21883/JTF.2022.05.52369.2-22 [A.I. Tolmachev, L. Forlano. Tech. Phys., 67 (5), 555 (2022). DOI: 10.21883/TP.2022.05.53670.2-22]
- J.F. Ziegler, J.P. Biersack, M.D. Ziegler. SRIM --- The Stopping and Ranges of Ions in Solids (SRIM Co., Chester, 2008), http://www.srim.org
- V.I. Shulga. Appl. Surf. Sci., 439, 456 (2018). DOI: 10.1016/j.apsusc.2018.01.039
- M. Hou, M.T. Robinson. Appl. Phys., 18, 381 (1979). DOI: 10.1007/BF00899692
- J.P. Biersack, W. Eckstein. Appl. Phys. A, 34, 73 (1984). DOI: 10.1007/BF00614759
- Y. Yamamura, C. Mossner, H. Oechsner. Radiat. Eff., 103, 25 (1987). DOI: 10.1080/00337578708210060
- H.-B. Kim, G. Hobler, A. Lugstein, E. Bertagnolli. J. Micromech. Microeng., 17, 1178 (2007). DOI: 10.1088/0960-1317/17/6/011
- H. Hofsass, K. Zhang, A. Mutzke. Appl. Surf. Sci., 310, 134 (2014). DOI: 10.1016/j.apsusc.2014.03.152
- S. Lindsey, G. Hobler. Nucl. Instrum. Methods Phys. Res. B, 303, 142 (2013). DOI: 10.1016/j.nimb.2012.12.087
- R.M. Bradley, G. Hobler. J. Appl. Phys., 133, 0653032 (2023). DOI: 10.1063/5.0137324
- В.М. Кивилис, Э.С. Парилис, Н.Ю. Тураев. ДАН СССР, 173, 805 (1967)
- V.E. Yurasova, V.I. Shulga, D.S. Karpuzov. Can. J. Phys., 46, 759 (1968)
- E.S. Wise, M.S. Liu, T. Miller. Comp. Mater. Sci., 107, 102 (2015). DOI: 10.1016/j.commatsci.2015.05.008
- V.I. Shulga. Appl. Surf. Sci., 458, 18 (2018). DOI: 10.1016/j.apsusc.2018.07.059
- M.T. Robinson. J. Appl. Phys., 54, 2650 (1983). DOI: 10.1063/1.332267
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
