Вышедшие номера
Исследование изменения реальной формы круглых тонкопленочных мембран при реализации метода выдувания
Минобрнауки России, Государственное задание, 075-03-2020-216, 0719-2020- 0017, мнемокод FSMR-2020-0017
Дедкова А.А. 1, Дюжев Н.А. 1
1Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия
Email: dedkova@ckp-miet.ru
Поступила в редакцию: 7 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 7 апреля 2022 г.
Принята к печати: 7 апреля 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.

Проведено исследование степени сферичности реальной формы круглых тонкопленочных мембран при ее изменении в процессе реализации метода выдувания. Изучены сформированные Bosch-процессом круглые тонкопленочные мембраны со структурой SiNx/SiО2/SiNx/SiО2, pSi*/SiNx/SiO2, Al и др. Описана методика, позволяющая определить области отклонения формы поверхности мембраны от сферической, оценить величину и характер распределения радиуса кривизны вдоль диаметра мембраны. Показано, что форма мембран отличается от сферической ближе к области закрепления, а также во многих случаях и к области вершины (центра) мембраны. Также обнаружена тенденция к увеличению радиуса кривизны по мере приближения к центру мембраны. Ключевые слова: тонкие пленки, мембрана, механические характеристики, механические напряжения, деформация, прогиб, микроэлектромеханические системы, МЭМС, круглая мембрана, кремниевая подложка, оптическая профилометрия, избыточное давление, метод выдувания, поверхность, рельеф, радиус кривизны, кривизна.
  1. А.А. Дедкова, П.Ю. Глаголев, Е.Э. Гусев, Н.А. Дюжев, В.Ю. Киреев, С.А. Лычев, Д.А. Товарнов. ЖТФ, 91 (10), 1454 (2021). DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52793.86-22
  2. Н.А. Дюжев, Е.Э. Гусев, А.А. Дедкова, Д.А. Товарнов, М.А. Махиборода. ЖТФ, 90 (11), 1838 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52793.86-22 [N.A. Djuzhev, E.E. Gusev, A.A. Dedkova, D.A. Tovarnov, M.A. Makhiboroda. Tech. Phys., 65 (11), 1755 (2020). DOI: 10.1134/S1063784220110055]
  3. А.А. Дедкова, Н.А. Дюжев, Е.Э. Гусев, М.Ю. Штерн. Дефектоскопия, 5 (5), 52 (2020). DOI: 10.31857/S0130308220050073 [А.А. Dedkova, N.A. Dyuzhev, E.E. Gusev, M.Yu. Shtern. Rus. J. Nondestructive Testing, 56 (5), 452 (2020). DOI: 10.1134/S1061830920050046]
  4. В.Ю. Киреев. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография --- процессы и оборудование (Издат. дом "Интеллект", Долгопрудный, 2016)
  5. A. Nazarov, I. Abdulhalim. Sensors and Actuators A: Phys., 257, 113 (2017). DOI: 10.1016/j.sna.2017.02.020
  6. C. Zorman. Material Aspects of Micro- and Nanoelectromechanical Systems (Springer Handbook of Nanotechnology, Springer-Verlag, Berlin 2007)
  7. F. Zhao. Proceedings Modeling, Signal Processing, and Control for Smart Structures, 6926, 69260W (2008). DOI: 10.1117/12.775511
  8. R.H. Plaut. Acta Mech., 202, 79 (2009). DOI: 10.1007/s00707-008-0037-3
  9. J. Neggers, J.P.M. Hoenagels, F. Hild, S. Roux, M.G.D. Geers. Experimental Mechanics, 54 (5), 717 (2014). DOI: 10.1007/S11340-013-9832-4
  10. Л.Е. Андреева. Упругие элементы приборов (Машгиз, М., 1962)
  11. С.П. Тимошенко, С. Войновский-Кригер. Пластины и оболочки (Наука, М., 1966)
  12. G. Machado, D. Favier, G. Chagnon. Experimental Mechanics, 52, 865 (2012). DOI: 10.1007/s11340-011-9571-3
  13. A. Degen, J. Voigt, B. Sossna, F. Shi, I.W. Rangelow. Proceedings SPIE, 3996, 97 (2000)
  14. M.K. Small, W.D. Nix. J. Mater. Res., 7 (6), 1553 (1992)
  15. А.В. Корляков. Нано- и микросистемная техника, 8, 17 (2007)
  16. О.Н. Асташенкова. Физико-технологические основы управления механическими напряжениями в тонкопленочных композициях микромеханики. Дисс. (СПбГЭУ "ЛЭТИ", СПб., 2015), 143 с
  17. Н.М. Якупов, С.Н. Якупов. Строительная механика инженерных конструкций и сооружений, 1, 6 (2017)
  18. А.А. Саченков. Цикл лекций по теории пластин и оболочек: учебное пособие (Казанский ун-т, Казань, 2018)
  19. М.С. Ганеева, В.Е. Моисеева, З.В. Скворцова. Ученые записки Казанского университета. Серия физико-математические науки, 160 (4), 670 (2018).
  20. A.A. Dedkova, P.Yu. Glagolev, G.D. Demin, E.E. Gusev, P.A. Skvortsov. 2020 IEEE Conf. Rus. Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus), 2288 (2020). DOI: 10.1109/EIConRus49466.2020.9039289
  21. S. Jianbing, L. Xiang, X. Sufang, W. Wenjia. Interna. J. Polymer Sci., 2017, 4183686 (2017)
  22. Е.Э. Гусев Исследование и разработка технологии создания высокопрочных мембран для преобразователей физических величин. Дисс. (МИЭТ, М., 2019), 182 с.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.