Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Исследование изменения реальной формы круглых тонкопленочных мембран при реализации метода выдувания
Переводная версия: 10.21883/TP.2022.08.54575.86-22 
Минобрнауки России, Государственное задание, 075-03-2020-216, 0719-2020- 0017, мнемокод FSMR-2020-0017
Дедкова А.А.
1, Дюжев Н.А.
1
1Национальный исследовательский университет "МИЭТ", Зеленоград, Москва, Россия 
Email: dedkova@ckp-miet.ru
Поступила в редакцию: 7 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 7 апреля 2022 г.
Принята к печати: 7 апреля 2022 г.
Выставление онлайн: 12 июня 2022 г.
Проведено исследование степени сферичности реальной формы круглых тонкопленочных мембран при ее изменении в процессе реализации метода выдувания. Изучены сформированные Bosch-процессом круглые тонкопленочные мембраны со структурой SiNx/SiО2/SiNx/SiО2, pSi*/SiNx/SiO2, Al и др. Описана методика, позволяющая определить области отклонения формы поверхности мембраны от сферической, оценить величину и характер распределения радиуса кривизны вдоль диаметра мембраны. Показано, что форма мембран отличается от сферической ближе к области закрепления, а также во многих случаях и к области вершины (центра) мембраны. Также обнаружена тенденция к увеличению радиуса кривизны по мере приближения к центру мембраны. Ключевые слова: тонкие пленки, мембрана, механические характеристики, механические напряжения, деформация, прогиб, микроэлектромеханические системы, МЭМС, круглая мембрана, кремниевая подложка, оптическая профилометрия, избыточное давление, метод выдувания, поверхность, рельеф, радиус кривизны, кривизна.
- А.А. Дедкова, П.Ю. Глаголев, Е.Э. Гусев, Н.А. Дюжев, В.Ю. Киреев, С.А. Лычев, Д.А. Товарнов. ЖТФ, 91 (10), 1454 (2021). DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52793.86-22
- Н.А. Дюжев, Е.Э. Гусев, А.А. Дедкова, Д.А. Товарнов, М.А. Махиборода. ЖТФ, 90 (11), 1838 (2020). DOI: 10.21883/JTF.2022.08.52793.86-22 [N.A. Djuzhev, E.E. Gusev, A.A. Dedkova, D.A. Tovarnov, M.A. Makhiboroda. Tech. Phys., 65 (11), 1755 (2020). DOI: 10.1134/S1063784220110055]
- А.А. Дедкова, Н.А. Дюжев, Е.Э. Гусев, М.Ю. Штерн. Дефектоскопия, 5 (5), 52 (2020). DOI: 10.31857/S0130308220050073 [А.А. Dedkova, N.A. Dyuzhev, E.E. Gusev, M.Yu. Shtern. Rus. J. Nondestructive Testing, 56 (5), 452 (2020). DOI: 10.1134/S1061830920050046]
- В.Ю. Киреев. Нанотехнологии в микроэлектронике. Нанолитография --- процессы и оборудование (Издат. дом "Интеллект", Долгопрудный, 2016)
- A. Nazarov, I. Abdulhalim. Sensors and Actuators A: Phys., 257, 113 (2017). DOI: 10.1016/j.sna.2017.02.020
- C. Zorman. Material Aspects of Micro- and Nanoelectromechanical Systems (Springer Handbook of Nanotechnology, Springer-Verlag, Berlin 2007)
- F. Zhao. Proceedings Modeling, Signal Processing, and Control for Smart Structures, 6926, 69260W (2008). DOI: 10.1117/12.775511
- R.H. Plaut. Acta Mech., 202, 79 (2009). DOI: 10.1007/s00707-008-0037-3
- J. Neggers, J.P.M. Hoenagels, F. Hild, S. Roux, M.G.D. Geers. Experimental Mechanics, 54 (5), 717 (2014). DOI: 10.1007/S11340-013-9832-4
- Л.Е. Андреева. Упругие элементы приборов (Машгиз, М., 1962)
- С.П. Тимошенко, С. Войновский-Кригер. Пластины и оболочки (Наука, М., 1966)
- G. Machado, D. Favier, G. Chagnon. Experimental Mechanics, 52, 865 (2012). DOI: 10.1007/s11340-011-9571-3
- A. Degen, J. Voigt, B. Sossna, F. Shi, I.W. Rangelow. Proceedings SPIE, 3996, 97 (2000)
- M.K. Small, W.D. Nix. J. Mater. Res., 7 (6), 1553 (1992)
- А.В. Корляков. Нано- и микросистемная техника, 8, 17 (2007)
- О.Н. Асташенкова. Физико-технологические основы управления механическими напряжениями в тонкопленочных композициях микромеханики. Дисс. (СПбГЭУ "ЛЭТИ", СПб., 2015), 143 с
- Н.М. Якупов, С.Н. Якупов. Строительная механика инженерных конструкций и сооружений, 1, 6 (2017)
- А.А. Саченков. Цикл лекций по теории пластин и оболочек: учебное пособие (Казанский ун-т, Казань, 2018)
- М.С. Ганеева, В.Е. Моисеева, З.В. Скворцова. Ученые записки Казанского университета. Серия физико-математические науки, 160 (4), 670 (2018).
- A.A. Dedkova, P.Yu. Glagolev, G.D. Demin, E.E. Gusev, P.A. Skvortsov. 2020 IEEE Conf. Rus. Young Researchers in Electrical and Electronic Engineering (EIConRus), 2288 (2020). DOI: 10.1109/EIConRus49466.2020.9039289
- S. Jianbing, L. Xiang, X. Sufang, W. Wenjia. Interna. J. Polymer Sci., 2017, 4183686 (2017)
- Е.Э. Гусев Исследование и разработка технологии создания высокопрочных мембран для преобразователей физических величин. Дисс. (МИЭТ, М., 2019), 182 с.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
